晶圆载具的应用流程
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数据来源：IDC，华福证券研究所整理2023-09-08 - 全球半导体机械手市场销售额及增速（亿美元）
数据来源：QYResearch，华福证券研究所2023-09-08 - 全球半导体射频电源市场销售额及增长率
数据来源：QYResearch、华福证券研究所整理2023-09-08 - 全球工业级精密光学市场规模（亿人民币）
数据来源：《紫外LED光刻光源系统的研究与设计》——王国贵2023-09-08 - 2017-2022全球半导体真空泵市场规模情况
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数据来源：凯德石英招股说明书，华福证券研究所整理2023-09-08 - 2017-2028全球静电吸盘市场规模及增长率
数据来源：QYResearch，华福证券研究所2023-09-08 - 2022财年全球半导体设备领先厂商毛利率及市场份额
数据来源：各公司公告，华福证券研究所整理2023-09-08 - 2020年全球半导体机械手市场分布
数据来源：QYResearch，华福证券研究所2023-09-08 - 2021全球半导体真空泵市场格局
数据来源：华经产业研究院，华福证券研究所2023-09-08 - 2022全球半导体阀门和管接头市场份额
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数据来源：《石英部件在半导体领域应用及市场概览》—2023-09-08 - 2021年全球半导体静电吸盘市场收入份额
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数据来源：凯德石英招股说明书，华福证券研究所2023-09-08 - 半导体金属零部件产业结构
数据来源：华亚智能招股说明书、富创精密招股说明书、华福证券研究所 资料2023-09-08 - 半导体设备及零部件产业链结构
数据来源：富创精密招股说明书，华福证券研究所2023-09-08 - 研发费用及其营收占比
数据来源：Wind，华福证券研究所2023-09-08 - 2018-2022公司营业收入及净利润
数据来源：Wind，华福证券研究所2023-09-08 - 2018-2022公司营业收入和归母净利润及增速
数据来源：WInd，华福证券研究所2023-09-08 - 汉钟精机营收及利润 (亿元
数据来源：WIND，华福证券研究所2023-09-08 - 2018-2022公司研发费用及其占营收的比重
数据来源：Wind，华福证券研究所2023-09-08 - 2018-2022公司营业收入与归母净利润及增速
数据来源：Wind，华福证券研究所2023-09-08 - Entegris公司归母净利润
数据来源：Entegris2022年年报、华福证券研究所2023-09-08 - 2022年Entegris营收构成
数据来源：Entegris2022年年报、华福证券研究所2023-09-08 - EBARA2018-2022各项RO
数据来源：网络2023-09-08 - EBARA2018-2022业务营收占比
数据来源：EBARA公司公告、华福证券研究所2023-09-08 - UCT2018-2022各业务毛利净利率
数据来源：UCT公司公告、华福证券研究所2023-09-08 - UCT2018-2022业务营收占比
数据来源：UCT公司公告、华福证券研究所 资2023-09-08 - 细分部门营收占比（亿欧元）
数据来源：ZIESS年报、华福证券研究所2023-09-08 - 营业收入、利润及研发费用
数据来源：ZEISS年报，华福证券研究所2023-09-08 - 营业收入、利润及研发费用
数据来源：MKS公司年报，华福证券研究所2023-09-08 - 营业收入、EBITDA及增速（百万瑞士法郎）
数据来源：VAT公司官网，VAT公司年报，华福证券研究所2023-09-08 - O-ring外观
数据来源：Creene Tweed官网，华福证2023-09-08 - 公司研发费用和营收占比（百万元）
数据来源：公司招股说明书，华福证券研究所整理2023-09-08 - 公司营业收入和净利润（亿元）
数据来源：公司招股说明书，华福证券研究所整理2023-09-08 - 先锋精密主要财务信息
数据来源：网络2023-09-08 - 2013-2023营收与净利润情况及同比增速
数据来源：Choice数据库、华福证券研究所2023-09-08 - 菲利华营业收入
数据来源：iFIND， 华福证券研究所整理2023-09-08 - 离子注入设备系统
数据来源：《半导体制造技术导论》、中国半导2023-09-08 - 离子注入设备及设备结构
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数据来源：Wind，华福证券研究所2023-09-08 - 产品矩阵
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数据来源：Advanced Energy年报，华福证券研究所2023-09-08 - 2018-2022公司净利润及增速
数据来源：网络2023-09-08 - 2018-2022公司营业收入及增速
数据来源：Advanced Energy公司官网，华福证券研究2023-09-08 - 公司发展大事记
数据来源：公司官网，Choice，华福证券研究所整理2023-09-08 - 部分经营产品举例
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数据来源：Edwards公司公告、华福证券研究所2023-09-08 - 真空技术业务盈利情况
数据来源：Edwards公司公告、华福证券研究所 812023-09-08 - EBARA历史沿革
数据来源：EBARA公司公告、华福证券研究所2023-09-08 - 离子束刻蚀原理 & 设备
数据来源：中科院苏州纳米所、《离子束刻蚀技术与设备常见故障分析》-程壹涛等、华福证券研究所2023-09-08 - 等离子刻蚀设备主机平台 & 设备
数据来源：中微公司招股书、《集成电路产业全书》、等离子去胶沛沅仪器、华福2023-09-08 - EBARA2018-2022营收（亿日元）
数据来源：EBARA公司公告、华福证券研究所2023-09-08 - EBARA2018-2022净利润（亿日元）
数据来源：EBARA公司公告、华福证券研究所 资料来源：EBARA公司官网、华福证券研究所 792023-09-08 - UCT各业务竞争对手
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数据来源：UCT公司公告、华福证券研究所2023-09-08 - 分部门营业占比
数据来源：MKS公司年报，华福证券研究所2023-09-08 - MKS主营产品示例
数据来源：MKS官网、eetimes、crunchbase、yahoo、2023-09-08 - 2022年MKS营收情况(亿美元）
数据来源：2022年MKS年报，华福证券研究所2023-09-08 - VAT公司业务
数据来源：VAT公司官网，VAT公司年报，华福证2023-09-08 - 公司在高端半导体行业的市场份额
数据来源：VAT公司年报，华福证券研究所2023-09-08 - 光刻机系统结构
数据来源：《光刻机照明系统中继镜组的光场均匀性优化设计》——龚爽等、2023-09-08 - 8-12吋晶圆设备部分零部件供应商及自给率情况
数据来源：芯谋研究，华福证券研究所2023-09-08 - 2022年全球半导体零部件龙头厂商营收占比
数据来源：Yole Group，华福证券研究所2023-09-08 - MKS仪器公司产品矩阵
数据来源：MKS官网，华福证券研究所2023-09-08 - 全球前十大半导体零部件厂商
数据来源：各公司官网，《半导体零部件产业现状及对我国发展的建议》——朱晶华福证券研究所2023-09-08 - 2022年及2026年12英寸晶圆分地区产能份额
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数据来源：CHOICE、华福证券研究所2023-09-08 - 2018-2023研发费用与占比
数据来源：公司官网、华福证券研究所 1082023-09-08 - 石英股份营收结构
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图表属性
- 数据类型：其他
- 行业分类：工业制造
- 发布日期：2023-09-08
- 文件格式：PNG