螺旋状与平面盘绕状电感耦合放电等离子体刻蚀

螺旋状与平面盘绕状电感耦合放电等离子体刻蚀的图片

数据来源:《等离子体刻蚀工艺的物理基础》——戴忠玲等,

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  • 数据类型:其他
  • 行业分类:工业制造
  • 发布日期:2023-09-08
  • 文件格式:PNG