ALD & CVD & PVD薄膜沉积设备性能对比
数据来源：深圳真空行业协会、微导纳米招股书、华福证券研究所
查看原文相关图表
- 汉钟精机主要业务与产品分类
数据来源：汉钟精机官网，华福证券研究所2023-09-08 - 半导体清洗方法分类
数据来源：盛美上海招股书、华福证券研究所2023-09-08 - 半导体行业布局历程
数据来源：华福证券研究所2023-09-08 - 不同刻蚀方法分类
数据来源：半导体制造技术导论，21ic电子网，华福证券研究所2023-09-08 - ZEISS发展时间线
数据来源：ZIESS官网、 2022年ZIESS年报、华福证券研究所整理2023-09-08 - 各类半导体零部件功能及国产化情况
数据来源：立鼎产业研究院，华福证券研究所2023-09-08 - 光源的分类、演进与原理
数据来源：ASML，华福证券研究所2023-09-08 - 真空泵分类
数据来源：中科仪招股说明书、华福证券研究所2023-09-08 - 各类常见的半导体设备用阀门介绍
数据来源：VAT官网，Swagelok官网，华福证券研究所2023-09-08 - 流体管理系统零部件及其介绍
数据来源：SEMI，Wagelok Northern California，华福证券研究所2023-09-08 - 半导体用石英制品介绍
数据来源：凯德石英招股说明书，华福证券研究所2023-09-08 - 石英器件在半导体产业中的应用
数据来源：凯德石英招股说明书，华福证券研究所2023-09-08 - 静电吸盘原理
数据来源：网络2023-09-08 - 按材料和使用功能分类的各类零部件技术难点
数据来源：《半导体零部件产业现状及对我国发展的建议》——朱晶，根据中芯国际、江丰电子、网络信息整理，华福证券研究所2023-09-08 - 半导体设备零部件分类及主要应用设备
数据来源：富创精密招股说明书，各公司官网，华福证券研究所2023-09-08 - 英杰电气射频电源产品介绍
数据来源：公司官网，华福证券研究所整理2023-09-08 - 全球晶圆厂设备收入规模(十亿美元)
数据来源：Yole Intelligence，华福证券研究所整理2023-09-08 - 全球12英寸晶圆厂产能（万片/月）
数据来源：SEMI，华福证券研究所2023-09-08 - 全球XR市场规模（亿美元）
数据来源：statista，华福证券研究所2023-09-08 - 全球及中国VR设备出货量（万台）
数据来源：Wellsenn XR，华福证券研究所2023-09-08 - 中国汽车电子行业市场规模（亿美元）
数据来源：前瞻产业研究院，华福证券研究所2023-09-08 - 中国智能算力规模预测（EFLOPS）
数据来源：IDC，华福证券研究所整理2023-09-08 - 全球半导体机械手市场销售额及增速（亿美元）
数据来源：QYResearch，华福证券研究所2023-09-08 - 全球半导体射频电源市场销售额及增长率
数据来源：QYResearch、华福证券研究所整理2023-09-08 - 全球工业级精密光学市场规模（亿人民币）
数据来源：《紫外LED光刻光源系统的研究与设计》——王国贵2023-09-08 - 2017-2022全球半导体真空泵市场规模情况
数据来源：华经产业研究院，华福证券研究所2023-09-08 - 2018-2029全球半导体阀门和管接头市场规模及增速
数据来源：YH Research，华福证券研究所2023-09-08 - 质量流量控制器市场规模（亿美元）
数据来源：MarketsandMarkets官网，华福证券研究所2023-09-08 - 石英制品各应用领域的市场规模占比
数据来源：凯德石英招股说明书，华福证券研究所整理2023-09-08 - 2017-2028全球静电吸盘市场规模及增长率
数据来源：QYResearch，华福证券研究所2023-09-08 - 2022财年全球半导体设备领先厂商毛利率及市场份额
数据来源：各公司公告，华福证券研究所整理2023-09-08 - 2020年全球半导体机械手市场分布
数据来源：QYResearch，华福证券研究所2023-09-08 - 2021全球半导体真空泵市场格局
数据来源：华经产业研究院，华福证券研究所2023-09-08 - 2022全球半导体阀门和管接头市场份额
数据来源：YH Research，华福证券研究所2023-09-08 - 全球石英制品市场竞争格局
数据来源：《石英部件在半导体领域应用及市场概览》—2023-09-08 - 2021年全球半导体静电吸盘市场收入份额
数据来源：QYResearch，华福证券研究所2023-09-08 - 石英器件产业链
数据来源：凯德石英招股说明书，华福证券研究所2023-09-08 - 半导体金属零部件产业结构
数据来源：华亚智能招股说明书、富创精密招股说明书、华福证券研究所 资料2023-09-08 - 半导体设备及零部件产业链结构
数据来源：富创精密招股说明书，华福证券研究所2023-09-08 - 研发费用及其营收占比
数据来源：Wind，华福证券研究所2023-09-08 - 2018-2022公司营业收入及净利润
数据来源：Wind，华福证券研究所2023-09-08 - 2018-2022公司营业收入和归母净利润及增速
数据来源：WInd，华福证券研究所2023-09-08 - 汉钟精机营收及利润 (亿元
数据来源：WIND，华福证券研究所2023-09-08 - 2018-2022公司研发费用及其占营收的比重
数据来源：Wind，华福证券研究所2023-09-08 - 2018-2022公司营业收入与归母净利润及增速
数据来源：Wind，华福证券研究所2023-09-08 - Entegris公司归母净利润
数据来源：Entegris2022年年报、华福证券研究所2023-09-08 - 2022年Entegris营收构成
数据来源：Entegris2022年年报、华福证券研究所2023-09-08 - EBARA2018-2022各项RO
数据来源：网络2023-09-08 - EBARA2018-2022业务营收占比
数据来源：EBARA公司公告、华福证券研究所2023-09-08 - UCT2018-2022各业务毛利净利率
数据来源：UCT公司公告、华福证券研究所2023-09-08 - UCT2018-2022业务营收占比
数据来源：UCT公司公告、华福证券研究所 资2023-09-08 - 细分部门营收占比（亿欧元）
数据来源：ZIESS年报、华福证券研究所2023-09-08 - 营业收入、利润及研发费用
数据来源：ZEISS年报，华福证券研究所2023-09-08 - 营业收入、利润及研发费用
数据来源：MKS公司年报，华福证券研究所2023-09-08 - 营业收入、EBITDA及增速（百万瑞士法郎）
数据来源：VAT公司官网，VAT公司年报，华福证券研究所2023-09-08 - O-ring外观
数据来源：Creene Tweed官网，华福证2023-09-08 - 公司研发费用和营收占比（百万元）
数据来源：公司招股说明书，华福证券研究所整理2023-09-08 - 公司营业收入和净利润（亿元）
数据来源：公司招股说明书，华福证券研究所整理2023-09-08 - 先锋精密主要财务信息
数据来源：网络2023-09-08 - 2013-2023营收与净利润情况及同比增速
数据来源：Choice数据库、华福证券研究所2023-09-08 - 菲利华营业收入
数据来源：iFIND， 华福证券研究所整理2023-09-08 - 离子注入设备系统
数据来源：《半导体制造技术导论》、中国半导2023-09-08 - 离子注入设备及设备结构
数据来源：《半导体制造技术导论》、中电科官网、华福证券研究所2023-09-08 - 富创精密客户版图
数据来源：富创精密招股说明书，富创精密年报，华福证券研究所2023-09-08 - 富创精密营业收入
数据来源：Wind，华福证券研究所2023-09-08 - 富创精密净利润
数据来源：Wind，华福证券研究所2023-09-08 - 产品矩阵
数据来源：富创精密招股说明书，富创精密年报，华福证券研究所2023-09-08 - 产品矩阵
数据来源：富创精密招股说明书，富创精密年报，华福证券研究所2023-09-08 - 公司客户群体
数据来源：华亚智能招股说明书，华福2023-09-08 - 华亚智能主营产品
数据来源：华亚智能招股说明书，华福证券研究所2023-09-08 - 2019-2022公司分产品收入结构
数据来源：江丰电子公司招股说明书，Wind，华福证券研究所2023-09-08 - 公司产品矩阵
数据来源：江丰电子募集说明书，江丰电子2022公司年报，华福证券研究所整理2023-09-08 - 公司部分客户
数据来源：汉钟精机官网，华福证券研究2023-09-08 - 汉钟精机产品创收
数据来源：WIND，华福证券研究所2023-09-08 - 干式螺杆真空泵横截面结构示意
数据来源：iVaccum，华福证券研究所2023-09-08 - 汉钟精机运用在半导体工艺中的产品及其优势
数据来源：汉钟精机官网，华福证券研究所2023-09-08 - 公司部分客户
数据来源：Choice，华福证券研究所2023-09-08 - 公司产品矩阵
数据来源：正帆科技公司官网，正帆科技2022年年报，华福证券研究所 902023-09-08 - 不同湿法清洗设备及原理
数据来源：盛美上海招股书、华福证券研究所2023-09-08 - 半导体行业布局历程
数据来源：华福证券研究所 数据来源：Choice，华福证券研究所整理绘制 数据来源：Choice，华福证券研究所整理绘制2023-09-08 - 新莱应材主营产品
数据来源：新莱应材招股说明书，新莱应材年报，华福证券研究所2023-09-08 - 新莱应材三大领域主要客户
数据来源：新莱应材公司官网，华福证券研究所2023-09-08 - 国内厂商对应半导体零部件领域布局
数据来源：华福证券研究所整理2023-09-08 - Entegris业务分布
数据来源：Entegris2022年年报、华福证券研究所2023-09-08 - 公司主营产品结构
数据来源：Advanced Energy年报，华福证券研究所2023-09-08 - 2018-2022公司净利润及增速
数据来源：网络2023-09-08 - 2018-2022公司营业收入及增速
数据来源：Advanced Energy公司官网，华福证券研究2023-09-08 - 公司发展大事记
数据来源：公司官网，Choice，华福证券研究所整理2023-09-08 - 部分经营产品举例
数据来源：公司官网，华福证券研究所整理2023-09-08 - 真空技术业务营收情况(SEK)
数据来源：Edwards公司公告、华福证券研究所2023-09-08 - 真空技术业务盈利情况
数据来源：Edwards公司公告、华福证券研究所 812023-09-08 - EBARA历史沿革
数据来源：EBARA公司公告、华福证券研究所2023-09-08 - 离子束刻蚀原理 & 设备
数据来源：中科院苏州纳米所、《离子束刻蚀技术与设备常见故障分析》-程壹涛等、华福证券研究所2023-09-08 - 等离子刻蚀设备主机平台 & 设备
数据来源：中微公司招股书、《集成电路产业全书》、等离子去胶沛沅仪器、华福2023-09-08 - EBARA2018-2022营收（亿日元）
数据来源：EBARA公司公告、华福证券研究所2023-09-08 - EBARA2018-2022净利润（亿日元）
数据来源：EBARA公司公告、华福证券研究所 资料来源：EBARA公司官网、华福证券研究所 792023-09-08 - UCT各业务竞争对手
数据来源：UCT公司公告、华福证券研究所2023-09-08 - UCT2018-2022净利润（百万美元)
数据来源：UCT公司公告、华福证券研究所2023-09-08 - UCT2018-2022营收（亿美元）
数据来源：UCT公司公告、华福证券研究所2023-09-08 - 分部门营业占比
数据来源：MKS公司年报，华福证券研究所2023-09-08 - MKS主营产品示例
数据来源：MKS官网、eetimes、crunchbase、yahoo、2023-09-08 - 2022年MKS营收情况(亿美元）
数据来源：2022年MKS年报，华福证券研究所2023-09-08 - VAT公司业务
数据来源：VAT公司官网，VAT公司年报，华福证2023-09-08 - 公司在高端半导体行业的市场份额
数据来源：VAT公司年报，华福证券研究所2023-09-08 - 光刻机系统结构
数据来源：《光刻机照明系统中继镜组的光场均匀性优化设计》——龚爽等、2023-09-08 - 8-12吋晶圆设备部分零部件供应商及自给率情况
数据来源：芯谋研究，华福证券研究所2023-09-08 - 2022年全球半导体零部件龙头厂商营收占比
数据来源：Yole Group，华福证券研究所2023-09-08 - MKS仪器公司产品矩阵
数据来源：MKS官网，华福证券研究所2023-09-08 - 全球前十大半导体零部件厂商
数据来源：各公司官网，《半导体零部件产业现状及对我国发展的建议》——朱晶华福证券研究所2023-09-08 - 2022年及2026年12英寸晶圆分地区产能份额
数据来源：SEMI，华福证券研究所2023-09-08 - 全球芯片厂商厂房建设布局
数据来源：网络2023-09-08 - 2023-2026年全球待建造晶圆厂情况（个）
数据来源：McKinsey，华福证券研究所2023-09-08 - 汽车电子占整车制造成本中的比重
数据来源：前瞻产业研究院，华福证券研究所2023-09-08 - 2022-2026全球AI服务器出货量（千台）
数据来源：IDC，TrendForce，华福证券研究所整理2023-09-08 - 集成电路制造领域典型资本开支结构
数据来源：屹唐股份招股说明书，华福证券研究所2023-09-08 - 产线中晶圆制造设备投资额占比
数据来源：Utmel，华福证券研究所2023-09-08 - 全球半导体销售额（十亿美元）
数据来源：Wind，华福证券研究所2023-09-08 - 径向直线运动型机械手结构图
数据来源：《晶圆传输机械手结构浅析》——陈英男等 ，华福证券研究所2023-09-08 - 平面关节型机械手示意图
数据来源：《晶圆传输机械手结构浅析》——陈英男等，华福证券研究所2023-09-08 - 国内外射频电源厂商及现状
数据来源：Choice、公司官网、QYResearch、国投创业、武汉光博会、半导体产业纵横、国际金融与显示展、APO Research、华福证券研究所整理2023-09-08 - 射频电源在PECVD设备的应用
数据来源：全球光伏、华福证券研究所2023-09-08 - 螺旋状与平面盘绕状电感耦合放电等离子体刻蚀
数据来源：《等离子体刻蚀工艺的物理基础》——戴忠玲等，2023-09-08 - 电容耦合等离子刻蚀
数据来源：《等离子体刻蚀工艺的物理基础》——戴忠玲2023-09-08 - 射频电源工作原理
数据来源：艾兰科技、华福证券研究所2023-09-08 - 物镜系统工作示意图
数据来源：茂莱光学、华福证券研究所整理2023-09-08 - 物镜系统工作示意图
数据来源：《193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展》——张德福等、华福证券研究所整理2023-09-08 - 照明系统示意图
数据来源：《光刻机照明系统中继镜组的光场均匀性优化设计》——龚爽，华福证券研究所整理2023-09-08 - 照明系统示意图
数据来源：《光刻机照明系统中继镜组的光场均匀性优化设计》——龚爽，华福证券研究所整2023-09-08 - 极紫外光光刻光源工作示意图 图表84：Cymer准分子激光器工作原理
数据来源：《The development of laser-produced plasma2023-09-08 - 高压汞灯光刻光源系统 波
数据来源：《紫外LED光刻光源系统的研究与设计》——王国贵2023-09-08 - 芯片制造前道工艺原理及对应设备
数据来源：晶瑞股份招股说明书、中芯国际招股说明书（申报稿）、集成电路制造工艺、华福证券研究所2023-09-08 - 光刻机光学系统主要原材料
数据来源：茂来光学招股说明书，华福证券研究所整理2023-09-08 - 半导体真空泵行业主要厂商介绍
数据来源：中科仪招股说明书、华经产业研究院、华福证券研究院2023-09-08 - 立式双螺杆干式真空泵
数据来源：康沃真空网，华福证券研究所2023-09-08 - 低温泵结构示意图
数据来源：《微纳加工科学原理》—唐天同，华福证券研究所2023-09-08 - 分子泵结构
数据来源：iVacuum真空聚焦，华福证券研究所2023-09-08 - 半导体制造业中采用真空的益处
数据来源：《半导体制造技术》—Michael Quirk，华福证券研究所2023-09-08 - 使用FFKM橡胶圈的单晶/多晶硅清洗设备
数据来源：北方华创官网，华福证券研究所2023-09-08 - FFKM橡胶圈
数据来源：沸点密封官网，华福证券研究所2023-09-08 - 不同材质O-ring的优缺点
数据来源：广州赛美机电微信公众号，华福证券研究所2023-09-08 - 半导体制造业中采用真空的益处
数据来源：《半导体制造技术》—Michael Quirk，华福证券研究所2023-09-08 - 真空度划分范围及应用领域
数据来源：马德宝真空设备集团，中科仪招股说明书，华福证券研究所2023-09-08 - 真空系统图
数据来源：真空技术设备网，华福证券研究所2023-09-08 - 喷淋头在CVD腔体中的位置 图
数据来源：Oxford Instruments官网，华福证券研究所2023-09-08 - 中微公司发布的使用自主知识产权喷淋头量产的CVD设
数据来源：中微官网，华福证券研究所2023-09-08 - 气体淋喷头的专用涂层
数据来源：Oerlikon官网，华福证券研究所2023-09-08 - 气体喷淋头
数据来源：Oerlikon官网，华福证券研究所2023-09-08 - 不同环节使用的MFC不同
数据来源：Brooks官网，华福证券研究所2023-09-08 - 质量流量控制器内部结构
数据来源：倍斯托官网，华福证券研究所整理2023-09-08 - 质量流量控制器• MFC：质量流量控制器，即Mass Flow Controller（缩写为MFC）, MFC是对气体
数据来源：Horiba官网，北方华创官网，华福证券研究所整理2023-09-08 - GAS BOX服务于易燃易爆气体与毒性腐蚀性气体
数据来源：《特殊气体供应系统概述》——李全朕，华福证券研究所整理2023-09-08 - GAS BOX产品展示
数据来源：正帆科技官网，华福证券研究所整理2023-09-08 - GAS BOX应用场景举例
数据来源：全球机械网，华福证券研究所整理2023-09-08 - 流体管理系统子系统价值量占比
数据来源：SEMI，华福证券研究所2023-09-08 - 2020年各半导体子系统总支出（10亿美元）
数据来源：VLSI Research，华福证券研究所2023-09-08 - 按流程分类的半导体零部件子系统及其典型产品
数据来源：VLSI Research，华福证券研究所2023-09-08 - 静电吸盘主体结构示意图
数据来源：《J-R型氮化铝陶瓷静电吸盘的设计与制造》——牛晨旭 ，华福证券研究所2023-09-08 - 半导体制造关键流程中的陶瓷件
数据来源：粉体圈，集成电路材料研究，华福证券研究所2023-09-08 - 半导体金属零部件技术要求
数据来源：富创精密招股说明书、华福证券研究所2023-09-08 - FOUP/FOSB晶圆载具特性
数据来源：集成电路材料研究，华福证券研究所2023-09-08 - 晶圆载具的应用流程
数据来源：集成电路材料研究，华福证券研究所2023-09-08 - 晶圆载具在芯片制造产线上的位置
数据来源：艾邦半导体，SEMIGLORY，华福证券研究所2023-09-08 - 典型的半导体塑料制品
数据来源：艾邦高分子，塑连网，CMP Consulting，Darlly，华福证券研究所2023-09-08 - 塑料制品在半导体制造中的应用
数据来源：《我国IC产业发展对高纯塑料材料的需求》——孙卫东，华福证券研究所2023-09-08 - 精密机加件与通用外购件对比
数据来源：《半导体零部件产业现状及对我国发展的建议》——朱晶，华福证券研究所2023-09-08 - 2020年中国晶圆厂采购设备零部件结构(8-12寸)
数据来源：芯谋研究，华福证券研究所2023-09-08 - 自动光学检测&扫描电子显微镜检测系统结
数据来源：《晶圆表面缺陷自动检测技术的研究》-倪天宇、百贺2023-09-08 - 自动光学检测&扫描电子显微镜检测系统
数据来源：《晶圆表面缺陷自动检测技术的研究》-倪天宇、《集成电路产业全书》、2023-09-08 - CMP设备&设备结构
数据来源：华海清科招股书、华福证券研究所2023-09-08 - CMP具体设备
数据来源：《半导体集成电路制造手册》——耿怀渝、华福证券研究所2023-09-08 - 化学气相沉积CVD系统
数据来源：网络2023-09-08 - PVD蒸发/溅射原理
数据来源：真空技术与设备网、《半导体集成电路制造手册》、华福证券研究所2023-09-08 - 公司业务
数据来源：公司招股说明书，华福证券研究所整理2023-09-08 - ALD & CVD & PVD成膜效果
数据来源：拓荆科技招股书、华福证券研究所2023-09-08 - ALD & CVD & PVD薄膜沉积设备
数据来源：北方华创官网、华福证券研究所2023-09-08 - 先锋精密产能利用率
数据来源：先锋精密招股说明书、华福证券研究所2023-09-08 - 先锋精密主要业务板块与产品
数据来源：先锋精密招股说明书（申报稿）、华福证券研究所2023-09-08 - 先锋精密业务收入分布
数据来源：CHOICE、华福证券研究所2023-09-08 - 2018-2023研发费用与占比
数据来源：公司官网、华福证券研究所 1082023-09-08 - 石英股份营收结构
数据来源：Wind，华福证券研究所2023-09-08 - 石英股份营收及净利润（亿元）
数据来源：公司官网，公司2023年半年报，华福证2023-09-08 - 半导体石英产品认证流程
数据来源：弗若斯特沙利文公众号，华福证券研究所整理2023-09-08 - 菲利华半导体配套领域主要产品Ø 国内领先的石英材料及石英纤维制造企业，产品矩阵丰富
数据来源：公司官网，华福证券研究所整理2023-09-08 - 菲利华归母净利润
数据来源：iFIND， 华福证券研究所整理2023-09-08 - 昌红科技业务矩阵图
数据来源：公司2022年报，招股说明书，华福证券研究所2023-09-08 - 昌红科技联合鼎龙股份联合破局时序图
数据来源：昌红科技公司公告，华福证券研究所2023-09-08 - 微纳结构图
数据来源：公司2022年年报， 华福证券研究所整2023-09-08 - 苏大维格各业务收入占比
数据来源：Wind， 华福证券研究所整理2023-09-08 - 苏大维格营业收入
数据来源：Wind， 华福证券研究所整理2023-09-08 - 苏大维格主要业务板块与产品
数据来源：苏大维格2022年年报， 华福证券研究所整理2023-09-08 - 2016-2022年净利润及增速
数据来源：Wind，华福证券研究所整理2023-09-08 - 2016-2022年营业收入及增速
数据来源：Wind，华福证券研究所整理2023-09-08 - 英杰电气客户关系矩阵
数据来源：英杰电气公司官网，华福电子研究所整理2023-09-08 - 英杰电气主营产品
数据来源：英杰电气公司官网，华福电子研究所整理2023-09-08 - 应用领域及主要客户
数据来源：茂莱光学招股说明书， 华福证券研究2023-09-08 - 茂莱光学营业收入
数据来源：iFIND， 华福证券研究所2023-09-08 - 茂莱光学归母和扣非净利润
数据来源：iFIND， 华福证券研究所2023-09-08 - 茂来光学产品矩阵
数据来源：茂莱光学招股说明书， 华福证券研究所整理2023-09-08 - 茂莱光学精密制造仪器
数据来源：茂莱光学招股说明书， 华福证券研究所2023-09-08
图表属性
- 数据类型：其他
- 行业分类：工业制造
- 发布日期：2023-09-08
- 文件格式：PNG、XLSX