收购离子注入机业务方案落地，构筑公司第二成长曲线
2021年报&2022一季报点评：离子注入机批量交付，子公司嘉芯正式启动运营
离子注入迎黄金发展期，CompartSystems有望加速半导体零部件国产化
并购整合打造半导体装备平台，离子注入迎经营拐点
系列跟踪报告之三：2021H1中报点评：离子注入机进展超预期，收购Compart增厚公司利润
离子注入机在手订单超6.8亿元，首批设备顺利发货
离子注入机客户持续拓展，平台化布局顺利推进
华海清科：CMP龙头乘“封”之势突破减薄，踏国产浪潮布局离子注入
收购芯嵛，深入离子注入设备业务，成长路径进一步清晰
机械行业周报2023年第32周：量测及离子注入设备再获新进展，半导体设备国产化进程加速
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