2021年报&2022一季报点评：离子注入机批量交付，子公司嘉芯正式启动运营
收购芯嵛，深入离子注入设备业务，成长路径进一步清晰
离子注入迎黄金发展期，CompartSystems有望加速半导体零部件国产化
离子注入设备国产领军者，“1+N”平台化发展打开成长空间
广发电子团队华海清科收购芯嵛剩余股权拓展离子注入全新成长空间
并购整合打造半导体装备平台，离子注入迎经营拐点
公司信息更新报告：国内离子注入机龙头，设备业务高速增长
机械行业周报2023年第32周：量测及离子注入设备再获新进展，半导体设备国产化进程加速
离子注入1到N起规模，半导体产业1+N建生态
离子注入机经营拐点，半导体平台化不断拓展
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