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数据来源：中微公司招股书、智研咨询、国海证券研究所2024-10-22 - ICP刻蚀和CCP刻蚀的对比
数据来源：《集成电路产业全书》王阳元等、中微公司招股书、国海证券研究所2024-10-22 - 薄膜沉积设备分类情况
数据来源：微导纳米招股书、Gartner、华经产业研究院、国海证券研究所2024-10-22 - 清洗设备分类
数据来源：盛美上海招股书、国海证券研究所2024-10-22