刻蚀之后晶圆边缘处的“风纹”状缺陷

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数据来源:张晨阳等《涂胶显影工艺对线宽均匀性的影响》(2023,现代工业经济与信息化),东吴证券研究所

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  • 数据类型:其他
  • 行业分类:工业制造
  • 发布日期:2024-07-24
  • 文件格式:PNG