相较传统的光刻胶掩膜刻蚀工艺,金属硬掩膜一体化刻蚀工艺的优势

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数据来源:《55nm金属硬掩膜一体化刻蚀工艺的研发和优化》(昂开渠),华金证券研究所整理

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  • 数据类型:其他
  • 行业分类:工业制造
  • 发布日期:2024-09-24
  • 文件格式:PNG、XLSX