半导体刻蚀设备：多频共振驱动刻蚀市场，国产替代未来可期
业绩维持高增，刻蚀与薄膜沉积产品发展良好
刻蚀新签大幅增长
公司事件点评报告：刻蚀设备持续突破，薄膜+光学检测设备未来可期
投资价值分析报告：刻蚀用单晶硅龙头，硅电极+大硅片未来可期
投资价值分析报告：国产替代机遇打造刻蚀设备平台型龙头
研发费用大幅增长，看好刻蚀设备持续突破
性能深度与应用广度齐升， 刻蚀龙头发展动能强劲
刻蚀设备不断突破，新品研发快速推进
深耕刻蚀设备，多维规划明晰
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