积塔/燕东微/华虹招标52/17/7台，长川/中微/至纯中标45/8/3台
半导体行业报告：积塔公布多个设备中标结果，上海印发IC企业核心团队专项奖励办法
电子行业国内半导体设备招投标月度数据跟踪第12期（2022年06月）：积塔/华虹招标53/49台，芯源微/北方华创/拓荆科技中标15/14/11台
中标上海积塔多台设备，半导体设备订单饱满
国内半导体设备招投标月度数据跟踪第11期（2022年05月）：华虹半导体招标88台，上海积塔半导体招标77台，北方华创中标39台
半导体设备中标专题（2022年7月）：晶圆厂扩产回升，万业企业子公司中标上海积塔多台刻蚀、沉积设备
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