【华创证券】深度研究报告:国内半导体专用温控/废气处理设备小巨人,持续受益于国产化浪潮.pdf

2024-03-20
31页
2MB

一、国产半导体专用温控设备领军者,拓宽产品布局打开成长空间

(一)国内半导体专用温控设备龙头,拓展产品矩阵实现快速成长


公司自 2013 年起依托北京自动化院研发半导体专用设备,于 2016 年正式成立,是目前 国内唯一一家实现先进制程半导体专用温控设备和国内极少数实现先进制程半导体专用 工艺废气处理设备规模应用的制造商,客户覆盖长江存储、中芯国际、华虹集团等:


技术积累阶段(2013-2017 年):公司自 2013 年开始专注于半导体专用设备赛道, 2016 年半导体专用温控设备率先取得突破,成功进入中芯国际供应链,2017 年公 司继续在温控设备领域发力,顺利导入华虹、北方华创、大连英特尔等头部客户;


拓展迭代阶段(2018-2022 年):依托在初代温控设备上积累的技术经验和客户资 源,公司相继研制出了首台节能温控设备、低温温控设备、嵌入式晶圆传片设备, 并将等离子/电加热废气处理等设备实现大规模商用,产品组合进一步丰富;


快速发展阶段(2023 年-至今):2023 年 11 月公司成功在科创板上市,IPO 募集 资金将助力公司建设集成电路制造专用高精密控制装备研发生产基地,全面提升 公司半导体专用设备的研发、制造和服务能力,未来多款产品份额有望持续提升。




公司主营产品包括半导体专用温控设备(Chiller)、半导体专用工艺废气处理设备(Local Scrubber)和晶圆传片设备(Sorter)三大产品线,目前可被广泛应用于逻辑、存储领域, 未来公司将以低温化、集成一体化、高传片量为发展方向,持续迭代产品性能:


半导体专用温控设备(Chiller):公司目前可提供-45 度至 120 度单通道、-70 度至 120 度双通道、-75 度至 120 度三通道温控设备,并成功适配 TEL、应用材料、北 方华创等品牌的主设备,未来公司将继续研发超低温温控设备,不断拓宽产品系列;


半导体专用工艺废气处理设备(Local Scrubber):公司可提供多种废气处理设备, 包括等离子式、电加热式、燃烧式,目前可覆盖成熟逻辑和先进存储芯片制造中的 刻蚀、沉积等工艺,未来公司将重点向集成一体化方向发展,并持续提高市场份额;


晶圆传片设备(Sorter):公司产品可以使晶圆下线、传片、翻片、倒片、出厂过程 实现全自动化运行,目前已可满足 90nm-28nm 逻辑芯片的各种工艺需求,且设备 传片量均已超过 330 片/小时,未来公司将继续提升传片量增强核心竞争力。


公司实际控制人为北京市国资委,管理层积极持股,股权结构稳定。截至 2023 年 11 月 29 日,京仪集团持有公司 28.13%的股权,为控股股东,北京市国资委直接持有北控集团 100%股权,通过北控集团、京仪集团间接持有京仪装备 28.13%的股权,为公司的实际控 制人;公司第二大股东为安徽北自投资管理中心,系公司创始股东,持有 17.20%股份, 其股东包括公司副董事长赵力行、总经理兼董事于浩等公司高管,股权结构较为稳定。


公司核心技术团队研发经验丰富,具有知名晶圆制造厂、半导体设备公司任职经历。公 司董事、总经理于浩曾任中芯国际集成电路制造(北京)有限公司制程工程师,在半导 体行业中积累了 17 年的经验;副总经理、总工程师周亮曾任职于大连英特尔、紫光集团 等,拥有 13 年半导体行业经验;公司 Chiller、Scrubber、Sorter 研发部副总工程师、技术 总监均有 10 年以上的研发或产品经验。研发团队实力强劲,为公司长期发展保驾护航。


(二)公司业绩持续高增长,规模效应下盈利能力有望稳步提高


国产替代背景下半导体设备行业加速发展,公司持续拓宽产品布局,业绩实现快速增长。 下游晶圆厂扩产叠加国产替代进程加速,公司作为国内半导体专用附属设备领域龙头,积极把握时代机遇拓宽产品系列,业绩实现高速增长。公司营业收入从 2019 年的 2.31 亿 元增长至 2022 年的 6.64 亿元,CAGR 为 42.18%;归母净利润从 2019 年的-0.29 亿元增 长至 2022 年的 0.91 亿元。2023 年在行业整体承压背景下,公司积极扩大客户群体覆盖 度,业绩持续提高。根据业绩快报,公司预计2023年实现营业收入7.42亿元,YoY+11.84%, 实现归母净利润 1.18 亿元,YoY+29.29%。展望未来,随着行业周期回暖,叠加公司产品 系列的不断完善、市场份额的进一步提升,业绩有望保持高增态势。


分业务看,公司半导体专用温控设备、废气处理设备业绩增长强劲,晶圆传片设备已实 现批量出货,随着装机量的提升,公司零配件及支持性设备与维护维修业务量稳中有升。 未来随着晶圆传片设备的快速放量,有望协同温控设备、废气处理设备贡献业绩增长:


半导体专用温控设备:2022 年公司温控设备收入 3.17 亿元,占比 47.72%,毛利率 为 43.17%。受益行业发展叠加公司在温控设备领域积累的优势,公司产品快速放 量,未来随着下游晶圆厂扩产叠加国产替代加速,公司温控设备收入有望持续高增;


半导体专用工艺废气处理设备:2022 年公司废气处理设备收入 2.27 亿元,占比 34.18%,毛利率为 46.51%。公司等离子体、电加热和燃烧型半导体专用废弃处理 设备布局全面,未来有望向面板等泛半导体领域扩张,带动业绩进一步提升;


晶圆传片设备:2022 年公司晶圆传片设备收入 0.19 亿元,占比 2.86%,毛利率为 17.39%。公司晶圆传片设备已在逻辑芯片领域实现放量,未来随着客户群的丰富和 出货量的增加,规模效应逐渐显现,公司晶圆传片设备业务毛利率有望不断提高;


零配件及支持性设备及维护维修:2022 年零配件及支持性设备及维护维修合计贡 献 0.9 亿元收入,随着设备销售数量的增长,在设备质保过期后客户维保需求逐渐 显现,有望为公司零配件及维修业务收入贡献新增量。


规模效应下公司毛、净利率稳步提升,期间费用率趋于平稳,盈利能力有望逐步提高。 随着公司温控设备和废气处理设备的放量,规模效应逐渐显现,带动公司综合毛利率从 2019 年的 29.56%稳步提升至 2023Q1-3 的 37.91%。期间费用率方面,由于 2019 年公司 尚处于业务拓展阶段,为客户提供的附带质保条款及服务费用较多导致当期销售费用率 较高,2020 年后随着公司经营规模的增加,期间费用率逐渐趋于稳定。展望未来,随着 公司晶圆传片设备的逐步放量以及产品结构的持续优化,盈利能力有望进一步提高。


公司在手订单充足,经营性现金流表现良好,有望为公司长期发展提供坚实保障。公司 半导体专用温控/废气处理设备性能优势显著叠加国产替代进程加速,在手订单稳步增长, 2022 年底公司合同负债为 3.20 亿元,2023Q3 末增长至 3.30 亿元,充沛的在手订单有望 支撑公司业绩长期增长。现金流方面,2019-2023Q1-3 公司持续投入以提升产品性能、扩 大市场份额,投资性活动现金流保持为负,2021 年公司经营性活动现金流开始由负转正, 并在 2023Q1-3 达到 0.64 亿元,为后续长期发展提供有力保障。




(三)需求回暖有望带动晶圆厂资本支出回升,公司有望显著受益


终端市场回暖+科技创新有望带动晶圆厂 CAPEX 恢复高增,提振半导体设备行业需求。 受半导体行业周期性波动影响,2023 年全球头部晶圆厂资本开支的上行趋势有所放缓。 展望后续,随着手机、PC 等泛消费类需求回暖叠加 AI、新能源汽车等新兴产业发展,有 望带动晶圆厂资本支出重回增长轨道,进而提振半导体设备行业需求。根据 SEMI 预测, 在 2022 年至 2026 年的预测期内,芯片制造商预计将增加 300mm 晶圆厂产能,以满足需 求增长,全球/中国大陆 12 英寸晶圆的产能将在 2026 年达到 960/240 万片/月,全球及国 内半导体设备的市场规模也有望随之增长。京仪装备作为国内唯一一家实现先进制程半 导体专用温控设备和极少数实现先进制程半导体专用废气处理设备规模应用的设备厂商, 有望在下游晶圆厂新一轮扩产周期中显著受益。


公司自研掌握多项核心技术和专利,成功构筑企业技术护城河。截至 2023 年 8 月 31 日, 公司已获专利 224 项,其中发明专利 83 项。在温控设备的研发中,公司自主研发并掌握 了制冷控制、精密控温等核心技术,并结合温度控制算法,实现半导体前道工序环节温 度的快速切换和精准控温;在废气处理设备的研发中,公司自主设计等离子(Plasma)发 生器及控制单元、燃烧点火装置等核心工艺器件,掌握低温等离子废气处理、新型材料防腐及密封和系统设计算法等核心技术,实现国产半导体专用工艺废气处理设备的突破; 在晶圆传片设备的研发中,公司自主研发并掌握了晶圆自动寻心装置技术、晶圆传控技 术、晶圆翻片技术和微晶背接触传控技术等核心技术,成功构筑企业技术壁垒。


公司平台化布局满足客户多样化需求,持续迭代产品性能提升核心竞争力。半导体专用 温控设备方面,公司产品在 28nm、14nm 逻辑芯片以及 128、192 层存储芯片领域均有良 好的表现,温控范围从-70℃到 120℃,温控范围、温控精度和冷却能力等指标均处于国 内领先、国际先进水平,未来公司将持续向-120℃超低温领域研发。半导体专用工艺废气 处理设备方面,公司已有燃烧式、等离子式和电加热式设备,可处理氢气、硅烷气体、碳 氟气体、三氟化氮等;同时在处理容量、进气口数量以及燃料类型等方面又进行了多机 型扩展,以满足不同客户需求,未来公司将向集成一体化方向发展。晶圆传片设备方面, 公司正加速研发核心零部件多关节大气洁净机械手、晶圆载物台,以期实现供应链的自 主可控。随着公司产品系列的逐步完善&性能的迭代,市场占有率有望进一步提升。


二、下游需求复苏叠加替代加速,带动国内半导体专用设备市场发展

复盘全球半导体行业发展,行业景气周期已触底回暖。从 2000 年起,全球半导体共经历 5 轮左右的周期,每轮周期约 4 年左右。2019 年下半年以来,5G、新能源车等领域爆发 带动半导体需求增长,供需错配形成一轮超级周期,在超级景气的半导体周期后,全球 半导体行业销售额同比增速在 2021Q2 见顶回落,而后同比降幅在 2023M5 出现收窄,参 考行业当前周期,我们认为半导体行业已逐步回暖。目前国内 LED 驱动、DDIC 等行业 芯片公司已率先完成去库存阶段,手机、安防等相关泛消费类芯片需求也逐渐触底回升。


国际贸易形势变化凸显半导体产业国产化的战略意义,半导体设备国产替代加速进行。 芯片法案等事件凸显半导体设备重要战略地位,下游客户国产设备采购意愿强烈,积极 配合设备验证导入,目前成熟制程新扩产将持续加大国产设备采购比例。我国设备厂商 也在积极布局更高端设备,未来有望复制成熟制程领域的成功经验。随着下游晶圆厂新 一轮扩产,国内设备厂商有望在成熟制程产线提高覆盖率,并在高端制程中崭露头角, 于国产替代进程中不断提升话语权,迎来业绩快速增长期。


半导体专用温控/废气处理/晶圆传片设备广泛应用于众多制造环节,公司有望持续受益。 在芯片制造过程中,附属设备将搭配主设备使用,其中半导体专用温控设备在刻蚀、离 子注入、扩散、薄膜沉积、CMP 等环节均有广泛需求,公司产品目前已在成熟或先进制 程 IC 制造的 12 英寸集成电路制造产线中实现量产。在逻辑领域,公司产品已经适配国 内 14nm 逻辑芯片制造产线;在存储领域,公司产品已可满足国内 192 层 3D NAND 存储 芯片制造需求,未来公司有望在新一轮扩产周期和国产化加速进程中持续受益。


(一)温控设备重要性日益凸显,公司市占率有望进一步提升


半导体专用温控设备重要性不断提升,公司自研技术满足客户定制化需求。半导体专用 温控设备利用制冷循环和工艺冷却水的热交换原理通过对半导体工艺设备使用的循环液 的温度、流量和压力进行高精密控制,以实现控温需求。随着芯片制程的不断发展,各 工艺环节对温控范围和误差的要求逐渐提高。公司通过多年的研发积累,运用制冷控制 技术、精密控温技术和节能技术等,在满足高低温瞬间切换和大功率制冷负载使用需求 的同时,可提升温控精度和节能效果。目前温控范围覆盖-70℃到 120℃,空载与运行状 态下控温误差仅为±0.05℃和±0.5℃,可满足多种半导体制造设备的定制要求。


晶圆厂扩产叠加摩尔定律驱动先进制程发展,带动半导体温控设备市场规模持续增长。 在摩尔定律的驱动下,集成电路前道制程步骤越来越多,工艺也越来越复杂。28nm 工艺 节点的工艺步骤只有数百道工序,而 14nm 及以下节点工艺步骤则增加至近千道工序, 工艺制程提升带动半导体专用温控设备需求量价齐升。根据 QY Research 统计,全球/我 国半导体专用温控设备市场规模从 2018 年的 5.08/1.12 亿美元增长至 2022 年的 6.99/1.64 亿美元,CAGR 分别为 8.29%和 10.11%。展望未来,随着终端需求回暖叠加 AI 创新带动 晶圆厂扩产重回增长轨道,半导体专用温控设备市场规模有望持续提高。




公司是国内半导体温控设备核心供应商,未来市占率有望进一步提升。公司自 2016 年进 入半导体专用温控设备领域,陆续推出 Y 系列、V 系列等国内领先技术水平的半导体专 用温控设备,产品类型覆盖单通道、双通道与三通道,能够满足下游客户的各类需求。 2018 年国内半导体专用温控设备市场 top6 供应商中,有五家为外国厂商,京仪装备作为 唯一国内厂商以 12.5%的市占率排名第三,此后公司不断发展壮大,市场份额不断提升, 自 2020 年以来市占率位居国内第一,2022 年国内市占率达到 35.73%。未来随着国产替 代进程加速,叠加公司新产品的陆续推出,市占率有望进一步提升。


公司产品性能已达到国际先进水平,可匹配海内外主流前道设备厂商需求。经过多年的 深耕积累,在与主要竞争对手 ATS 公司和 SMC 公司的同类型设备比较中,公司 V 系列 设备在通道数量、温控范围等方面具有领先优势,在平均故障时间(MTBF)、平均修复 时间(MTTR)方面和机台稳定运行时间(Up Time)已达到国际先进的水平。目前公司 产品可良好匹配泛林半导体、东京电子、应用材料、中微公司、北方华创等主流厂商的 半导体制造前道设备。


(二)废气处理设备市场快速发展,公司技术水平可比肩海外大厂


半导体废气处理设备种类众多,包括燃烧水洗式、等离子水洗、电热水洗式等。半导体 专用工艺废气处理设备通过真空泵排放管路与工艺设备相连,将废气通过真空泵排放管 路进入工艺废气处理设备,在高温氧化后与水形成稳定水溶液后集中处理,以实现工艺 废气的高效处理。公司在半导体专用工艺废气处理设备领域已形成低温等离子废气处理 技术、新型材料防腐及密封技术、系统设计算法及原理、半导体废气处理纯氧燃烧技术、 Harsh 工艺除尘技术五项核心技术,并先后研发出了燃烧水洗式、等离子水洗、电热水洗 式三种处理方式的产品,可适用于处理不同特性的工艺气体。


环境保护&安全生产需求日益提升,推动半导体专用废气处理设备市场快速发展。随着 我国对环境保护重视度日益提升,气体排放要求也随之提高,国务院《“十四五”节能减 排综合工作方案》对气体排放做出进一步限制,半导体专用废气处理设备前景也愈发广阔。根据 QY Research 统计,2018 年全球/中国半导体专用工艺废气处理设备市场规模 6.38/1.16亿美元,到2022年已增长至12.64/2.26亿美元,CAGR分别为18.64%和18.13%。


半导体工艺废气设备市场份额较为集中,国产替代浪潮下公司市占率持续提升。公司自 2018 年进入半导体专用工艺废气处理设备市场,目前废气处理效率达到 99%以上,产品 可覆盖绝大部分市场需求。竞争格局方面,国内半导体专用工艺废气处理设备市场分布 较为集中,前六大厂商合计占据 90%左右份额,京仪装备作为其中唯一的本土厂商,市 占率由 2018 年的 3.12%跃升至 2022 年的 15.57%,从 2018 年市占率排名第八名快速提 升至 2022 年的第四名。随着公司技术水平的不断迭代,未来将持续受益于国产化加速进 程。


公司废气处理技术水平可比肩海外大厂,客户群体覆盖众多知名半导体制造厂商。废气 处理效率和废气处理数量是衡量废气处理设备的核心指标,目前公司 Kylin BW 系列产 品的主要核心功能指标已优于 2022 年国内市占率第一的戴思的产品。除此之外,在平均 故障时间(MTBF)、平均修复时间(MTTR)方面和机台稳定运行时间(Up Time)上, 公司产品与海外竞品相比已无明显差异。凭借多年的技术积累,公司已与长江存储、中 芯国际、华虹集团、大连英特尔、广州粤芯、长鑫科技等知名半导体制造厂商建立合作 关系,并已完成设备的批量验证交付。


(三)晶圆传片设备市场规模不断增长,公司加速布局追赶未来可期


晶圆制造自动化&智能化发展,带动晶圆传片设备市场规模不断增长。半导体制程的不 断提升对晶圆洁净程度提出了更高的要求,人工处理晶圆可能会带入杂质,降低良率削 弱性能,因此采用自动化晶圆传片设备就显得尤为必要。晶圆传片设备由洁净大气机械 手、晶圆载物台、晶圆对准器等组成,为晶圆在不同生产流程间转移提供洁净的转移空 间,并节省转移流程,能够同时进行传片、翻片、倒片等工作,实现晶圆流转的全自动运 行,显著提升晶圆制造的效率和良率。根据公司招股书数据显示,受益于晶圆厂扩产叠 加晶圆制造自动化&智能化发展,全球 EFEM 及晶圆传片设备市场规模快速增长,由 2018 年 4.13 亿美元增长至 2022 年 8.71 亿美元。


欧美大厂占据市场主要份额,国内厂商加速布局追赶,未来成长空间广阔。瑞斯福公司 与平田公司等国外大厂经过长期的深耕积累,现阶段在晶圆传片设备的制作工艺与稳定 性等方面仍占据领先地位,主导市场发展,以京仪装备等为代表的国内厂商近年来正加 速布局追赶。目前京仪装备已逐步研发出三代晶圆传片设备,技术性能领跑国内厂商, 并通过了中芯国际、华虹集团等国内集成电路大厂验证,正逐渐进入量产环节。受益于 国产替代浪潮叠加国内厂商在产品性价比、本土化售后服务等方面的优势,国内厂商有 望在晶圆传片设备领域实现业绩的快速增长。


公司晶圆传片设备技术能力已达国际先进水平,产品放量在即未来可期。晶圆传片目的 在于减少传输过程中对晶圆的损害,而传送方式是晶圆传片的关键所在,微晶背传送可 以最大化减少对晶圆的损伤,真空和夹持则会对晶圆的背面和侧面造成损害,根据公司 招股书披露数据,目前公司 AAR-300 Wafer Sorter G3 在传送方式方面已优于瑞斯福公司 和平田公司的同类型产品;另外,在 WPH 衡量晶圆传输效率、平均故障时间(MTBF)、 平均修复时间(MTTR)方面和机台稳定运行时间(Up Time)方面已与同类型设备无差 距,整体技术已达到国际先进水平,未来有望凭借技术和性能优势实现产品的快速放量。


三、研发团队技术实力雄厚,平台化布局助力公司长远发展

(一)核心技术团队经验丰富,自主研发构筑核心技术壁垒


半导体专用设备行业技术壁垒高企,公司坚持自主创新形成核心竞争力。半导体专用设 备行业属于技术密集型行业,温控设备、废气处理设备和晶圆传片设备的研发和生产技 术均涉及到物理、化学、材料、机械、电气等多学科交叉知识。海外龙头企业凭借先发优 势已形成了较高的市占率,并在其优势技术领域形成了技术和人才壁垒。国内厂商经过 数年的技术研发和工艺积累,在部分领域已实现了技术突破和创新,并成功推出满足市 场需求的产品。以京仪装备为例,目前公司在主要产品领域已掌握半导体温控设备制冷 控制技术、低温等离子废气处理技术、半导体晶圆传控技术、晶圆翻片技术等共计 13 项 核心技术,并成功将其运用于公司核心产品的大批量生产中,形成企业核心竞争力。


公司研发投入不断增长,技术团队持续壮大为长远发展保驾护航。公司自成立以来持续 加大研发投入,2019 年至 2022 年,公司研发费用从 2181.07 万元增长至 4840.70 万元, CAGR 达到 30.44%,研发投入转化高效,推动核心产品不断升级,为公司的长期发展提 供坚实保障。研发人员方面,截至 2023H1 公司拥有近百人的研发团队,其中核心技术人 员在主营产品领域具备 10 年以上的研发或产品经验,并拥有在晶圆制造厂商、半导体设 备公司等任职的经历,研发团队的实力已成为保障公司稳步发展不可或缺的力量。




公司在研项目侧重产品优化升级,助力产品性能保持领先水平。截至 2023H1 报告期,公 司共有 10 项在研项目,主要围绕三大主营产品的整体结构设计、底层算法迭代、控制方 案升级和关键性能优化展开。在温控设备领域,公司将着重向-120℃更低温控区间发展,并持续优化产品能耗,提高产品竞争力;在废气处理设备领域,公司将着力研发集成一 体式路线方案,并通过解决粉尘问题推出处理效率更高的废气处理设备;在晶圆传片设 备领域,公司正积极布局多关节大气洁净机械手、晶圆载物台等核心零部件,有助于公 司长期保证供应链安全和降本增效。


(二)平台化布局&本土化服务,助力公司收获优质客户资源


半导体专用设备行业验证周期长、壁垒高,客户稳定性程度较高。由于设备的技术指标、 运行稳定性将对晶圆制造产线的产量、良率及稳定性产生直接影响,因此下游晶圆制造 厂商对半导体设备供应商的筛选标准较为严格。只有经过全面系统性验证流程、达到工 艺制程要求后,半导体设备才能进入晶圆制造厂商的合格供应商名单。考虑到前期的验 证成本、晶圆生产稳定性等,已通过验证的半导体设备将成为客户建设下一条晶圆制造厂线的优选设备,在未出现新的技术需求情况下供应商不会被轻易更换。因此优先通过 验证的企业在实际生产后,将与下游晶圆厂商形成紧密的合作关系。京仪装备作为国内 具有先发优势的半导体专用温控、废气处理和晶圆传片设备厂商,目前已通过国内多家 客户的验证,未来有望在下游晶圆厂扩产进程中优先受益。


公司品牌优势显著,平台化布局下产品协同效应显现,助力公司收获优质客户群体。公 司能够基于现有的技术储备进行产品研发,在半导体专用温控设备、废气处理设备领域, 根据客户的使用反馈情况,快速响应客户定制化需求,在客户端逐渐形成品牌优势和良 好口碑,目前已成功进入了长江存储、长鑫科技、华虹集团、中芯国际等国内主流产线。 未来公司有望凭借在温控设备、废气处理设备领域积累的品牌效应和客户资源,实现晶 圆传片设备的快速放量,协同效应下公司各产品线的销售效率有望不断提升。随着客户 群体的逐渐丰富,公司前五大客户收入占比有望进一步下降,收入结构将更加均衡。


本土化销售&服务团队快速响应客户需求,带动公司产品销量快速提升。销售及售后团 队在主要客户所在地承担着与下游客户就技术细节在售前和售后持续沟通、争取客户订 单等职责,公司自成立以来就高度重视销售团队的建设,目前已拥有一支充分熟悉公司 主营产品竞争情况、产品技术指标并掌握丰富销售经验的销售及售后团队,为公司在手 订单的增长、客户数量的增加提供不竭动力。通过提供高质量的全方位服务,及时了解 客户需求,并快速响应反馈问题,公司半导体温控/废气处理设备销量从 2020 年的 993/200 台快速增长至 2022 年的 1525/410 台,未来公司产品销量有望进一步提高。


募集资金项目助力公司高效研发&释放产能,打开远期成长空间。公司拟使用 5.06 亿元 募集资金建设集成电路制造专用高精密控制装备研发生产基地,另外补充 4.00 亿元流动 资金。通过该项目,公司将大幅提升三大主营产品的生产能力,并同步新增研发中心及 研发办公楼,全面提升公司半导体专用设备的研发、制造和服务能力,有助于巩固业内 领先的技术水平地位,促进公司主营业务在半导体领域的持续增长。除此之外,公司凭 借在集成电路行业积累的技术优势,已经实现在显示面板行业的市场销售业务突破,有 助于公司在其他泛半导体产业持续深耕,打开远期成长空间。



(本文仅供参考,不代表我们的任何投资建议。如需使用相关信息,请参阅报告原文。)


相关报告

京仪装备研究报告:国内半导体专用温控废气处理设备小巨人,持续受益于国产化浪潮.pdf

京仪装备研究报告:国内半导体温控设备龙头,乘风破浪未来可期.pdf

京仪装备研究报告:半导体温控及废气处理设备龙头,国产替代、先进扩产驱动成长.pdf

京仪装备研究报告:半导体温控、废气处理设备打破垄断,市占率持续提升可期.pdf

京仪装备研究报告:半导体专用温控、废气处理设备前行军.pdf

京仪装备研究报告:半导体专用温控、废气处理设备龙头,多赛道齐发展.pdf

超威半导体研究报告:算力帝国的挑战者.pdf

海外半导体设备公司专题分析:2024年中国大陆成熟制程开支稳定,HBM、先进逻辑驱动市场增长.pdf

天准科技研究报告:机器视觉平台化龙头,汽车、光伏、半导体多点开花.pdf

功率半导体行业专题报告:行至功率周期底部,静待下游复苏云起.pdf

半导体行业深度报告:AI大模型风起云涌,半导体与光模块长期受益.pdf

【华创证券】深度研究报告:国内半导体专用温控/废气处理设备小巨人,持续受益于国产化浪潮.pdf-第一页
联系烽火研报客服烽火研报客服头像
  • 服务热线
  • 4000832158
  • 客服微信
  • 烽火研报客服二维码
  • 客服咨询时间
  • 工作日8:30-18:00