【华西证券】半导体设备行业专题二：景气周期&国产替代驱动，国产设备砥砺前行.pdf

2023-09-30

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1.晶圆厂投资有望复苏，设备中期维度景气度向上

根据北京半导体行业协会信息，为了引导代工投资，美国政府和欧盟委员会分别通过了价值 530 亿美元和 470 亿美元的 CHIPS 法案，即价值 1000 亿美元的跨大西洋计划，比例分别为 53% 和 47%。Yole 一直在关注过去两年发布的公告，估计未来三到五年全球晶圆厂相关投资约为 8000 亿美元。其中 2050 亿美元计划在美国投资，其中 400 亿美元的台积电在亚利桑那州的晶圆厂建设于 2022 年 12 月开始。

美国公司占美国投资的 60%，包括英特尔、德州仪器、美光和 Wolfspeed 的项目。除台积电外，三星、SK 海力士、恩智浦、博世和 X-FAB 的直接外国投资 (DFI) 占剩余的 40%。欧盟计划投资 610 亿美元。其中包括耗资 200 亿美元在德国马格德堡建设英特尔晶圆厂，在波兰设有封装和测试工厂，以及格芯-意法半导体在法国的晶圆厂，英飞凌、博世和 ASML 等欧盟厂商也很活跃，以及台积电、博世、恩智浦和英飞凌正在讨论中。然而，DFI 占主导地位，占比为 85%，欧盟玩家仅占 15%。

根据 ICVIEWS 所统计数据显示，虽然半导体市场持续低迷，但 2023 年仍将有 13 座新的 12 英寸晶圆厂上线，这些新晶圆厂主要用于生产功率器件、高级逻辑芯片，以晶圆代工服务为主。根据截至 2022 年底的建设时间表，2024 年将有 15 座 12 英寸晶圆厂上线，其中 13 个用于生产 IC。预计 2025 年将有创纪录数量的晶圆厂开业，估计会有 17 家开始生产。随着 2023 年支出的削减，一些原定于 2024 年开业的晶圆厂可能会推迟到 2025 年。到 2027 年，投入运营的 12 英寸晶圆厂数量将超过 230 家。

我们认为未来三到五年晶圆代工厂将出现明显的投资复苏迹象，因此将带动全球半导体行业持续增长。 IC Insights 认为到 2026 年，中国大陆公司在纯晶圆代工市场的总份额将保持相对平稳。预计到 2026 年，中国大陆晶圆代工厂将占据全球纯代工厂市场的 8.8%。

我们认为随着中国半导体国产化趋势的不断提升，中国大陆晶圆代工厂在全球占比将会显著高于 8.8%。虽然半导体行业今年的需求相对低迷，但是总体而言未来的增长趋势还是比较显著，特别在需要提前布局的晶圆代工环节，会随着市场需求的增长而提前进行布局与建设，晶圆代工厂 CAPEX 将会增加，因此对于半导体设备的采购也会进一步增长。

2.中国大陆晶圆厂经营状况逐渐改善，扩产仍是中期规划

一线晶圆厂稼动率改善，根据中芯国际投关活动记录表显示，2023 年 Q2 产能利用率为 78%，相较第一季度上涨了 10%，公司判断 23H2 销售收入将好于上半年。根据集微咨询统计的 12/8 英寸产线中，截至 2023 年第二季度，中国大陆 12 英寸晶圆代工产线总产能 149.4 万片/月，2023 年预估新增产能大约 18 万片；8 英寸晶圆代工产线总产能 145.1 万片/月，2023 年预估新增产能大约 10 万片。集微咨询预估 2023 年第三季度起各晶圆代工产线产能利用率会逐渐回到正常水平，但产能扩充速度不会有显著改善。

我们认为国内晶圆代工厂扩产会更着重考虑国产设备，一是设备国产化势在必行，根据证券时报公众号消息，国资委表示支持中央企业在集成电路产业链发展的完整性、先进性上攻坚克难、勇往直前，更好促进集成电路产业高质量发展；二是设备国产化至关重要，近年来多个国家出台相关半导体设备禁令，部分工艺和制程出现了设备空缺，因此设备国产化是解决问题的重要途径。我们认为国内扩产中，国产设备的必要性和重要性持续升级，行业向上动能显著。

3.28nm 加速追赶，国产设备企业积极布局

根据 SEMI 与集微咨询的统计，2021 年国产设备的采购额仅占 11%，我们认为在国产化浪潮的推动下，国产设备供应商会获得更充足的机会，国产设备企业也在积极的拓展产品序列。根据芯智讯信息，台积电总裁魏哲家在法说会上表示，高雄厂已动工但会修正投资方向，原本的 28nm 投资计划会改成更先进制程。我们认为台积电高雄厂的转向会进一步释放 28nm 产能的竞争空间，对于中国大陆的晶圆代工厂而言，28n m 将是可以重点竞争的细分领域。

国内半导体设备企业也在积极布局 28nm 设备。根据集微咨询信息显示，半导体前道设备重点企业已覆盖除光刻外的大部分工艺制程技术。北方华创在薄膜、ICP 干法刻蚀、炉管等设备领域均有应用，尤其是炉管设备在国内晶圆代工大厂产线中有广泛应用；中微公司主要覆盖干法刻蚀领域，在 28nm 以上产线已有量产应用；盛美上海及至纯科技主要覆盖清洗、去胶及湿法刻蚀设备，基本覆盖了 28nm 及以上全部工艺技术需求；华海清科是国产 CMP 设备龙头企业，设备已进入国内外众多龙头代工企业产线量产使用；拓荆科技主要覆盖薄膜工艺设备，可适配 12 寸 28/40nm 产线及 8 寸 90nm 及以上产线工艺技术需求；芯源微是国内唯一一家实现涂胶显影设备技术突破的企业，已完成 28nm 及以上产线工艺节点覆盖，国内多家代工企业正在导入其涂胶显影设备，市场覆盖逐渐提升。

4.在手订单整体加码，国产设备成长性明显

4.1.至纯科技

根据至纯科技 2023 年中报信息显示，公司秉承“关注核心工艺，服务关键制程” 的经营理念，关注市场变化，持续构建核心能力，进一步深化现有产品线的渗透率，并加强在材料及部件端的业务拓展。围绕 2023 年度经营目标，公司整体在 2023 年上半年继续保持健康稳健增长。截至 2023 年 6 月 30 日，公司新增订单总额为 32.66 亿元，同比增长 38.28%；新增订单中 73.65%为半导体行业；在手订单 53.23 亿元。至纯科技旗下至微科技是国内湿法设备主要供应商之一，目前湿法设备在 28 纳米节点已经全覆盖，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点，至微也已取得部分工艺订单。

我们认为随着国产化率的提升，已在清洗领域获得一定优势的至纯科技将保持一定增速，未来盈利能力将持续增长。基于公司清洗设备订单持续增长的假设下，我们预测 2023-2025 年公司营收分别为 41.62 亿元、52.57 亿元和 64.24 亿元，EPS 分别为 1.30 元、1.65 元和 2.18 元，对应 2023 年 9 月 28 日收盘价 27.25 元/股，2023-2025 年 PE 分别为 21.04 倍、16.52 倍和12.50倍。基于9月28日收盘价，SW半导体设备板块整体法计算的PE为53.77，我们认为公司在手订单充足，首次覆盖给予增持评级。

4.2.盛美上海

根据盛美上海的公告显示，盛美上海从事对先进集成电路制造与先进晶圆级封装制造行业至关重要的清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备和等离子体增强化学气相沉积设备等的开发、制造和销售。2023 年以来，国内半导体行业设备需求持续增长，公司凭借技术优势、产品成熟度和市场认可度，不断深耕现有市场、拓展新市场，取得了显著的业绩增长。截至 2023 年 9 月 27 日，公司在手订单总金额为 67.96 亿元，同比增长 46.33%。

我们认为在行业相对低迷的情况下，盛美上海仍获得大量订单的增长，体现了公司强大的市场竞争力和充足的订单空间，我们预计公司未来将保持高速增长。基于公司订单持续增长的假设下，我们预测 2023-2025 年公司营收分别为 39.02 亿元、51.71 亿元和 62.75 亿元，EPS 分别为 1.97 元、2.70 元和 3.11 元，对应 2023 年 9 月 28 日收盘价 117.78 元/股，2023-2025 年 PE 分别为 59.85 倍、43.56 倍和 37.86 倍。基于 9 月 28 日收盘价，SW 半导体设备板块整体法计算的 PE 为 53.77，首次覆盖给予增持评级。

4.3.华峰测控

根据华峰测控 2023 年中报显示，从 2022 年下半年开始至今，受宏观经济增速放缓、国际地缘政治波动以及行业景气度持续下行的影响，整个半导体市场需求疲软，半导体设备领域的增速持续放缓。公司的业绩也持续承压。2023 年上半年，营业收入 3.81 亿元，同比降低 29.50%；归属于上市公司股东的净利润 1.61 亿元，同比降低 40.39%。今年 6 月，在上海举办的 SEMICON China 2023 展会上，公司推出了面向 SoC 测试领域的全新一代机型-STS8600，该机型使用全新的软件架构和分布式多工位并行控制系统，拥有更多的测试通道数以及更高的测试频率，并且配置水冷散热系统，进一步完善了公司的产品线，拓宽了公司产品的可测试范围，为公司未来的长期发展提供了强大的助力。

我们认为，今年的封测设备销售情况比先前的市场预期更为低迷，但从长期来看，公司营收和利润都有望持续增长。基于公司订单未来复苏增长的假设下，我们预测 2023-2025 年公司营收分别为 9.08 亿元、11.47 亿元和 14.33 亿元，EPS 分别为 2.65 元、3.88 元和 4.76 元，对应 2023 年 9 月 28 日收盘价 130.79 元/股，2023-2025 年 PE 分别为 49.30 倍、33.68 倍和 27.46 倍。基于 9 月 28 日收盘价，SW 半导体设备板块整体法计算的 PE 为 53.77，首次覆盖给予增持评级。

4.4.华海清科

根据华海清科 2023 年中报显示，公司的 CMP 设备凭借先进的产品性能、卓越的产品质量和优秀的售后服务在逻辑芯片、存储芯片、先进封装、大硅片、MEMS、 MicroLED、SiC 等第三代半导体等领域取得了良好的市场口碑，2023 年上半年公司实现营业收入 12.34 亿元，同比增长 72.12%；实现归属于上市公司股东的净利润 3.74 亿元，同比增长 101.44%；实现归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润 3.07 亿元，同比增长达 113.76%；实现综合毛利率 46.32%,实现归属于上市公司股东的净利率 30.31%。根据华海清科公告显示，华海清科首台 12 英寸单片终端清洗机 HSC-F3400 机台出机发往国内大硅片龙头企业。该产品是公司继 CMP 设备、减薄设备之后，在湿法设备系列产品中的又一重要布局，对公司未来的发展将产生积极的影响。

我们认为华海清科 CMP 设备不断扩大市场份额，并实现了营收净利的双重高速的增长，并且继续发力减薄、湿法设备，预计未来将延续营收与净利的高速增长。基于公司 CMP 市占率不断提升的假设下，我们预测 2023-2025 年公司营收分别为 26.32 亿元、35.88 亿元和 48.56 亿元，EPS 分别为 4.76 元、6.45 元和 8.78 元，对应 2023 年 9 月 28 日收盘价 191.50 元/股，2023-2025 年 PE 分别为 40.19 倍、29.69 倍和21.81倍。基于9月28日收盘价，SW半导体设备板块整体法计算的PE为53.77，首次覆盖给予增持评级。

4.5.拓荆科技

根据拓荆科技 2023 年中报显示，2023 年上半年，公司产品竞争力持续增强，同时，受益于国内下游晶圆制造厂的产能提升，公司销售订单饱满，营业收入维持高增长趋势。2023 年上半年实现营业收入 10.04 亿元，较上年同期增长 91.83%，营业收入大幅增长；实现归属于上市公司股东的净利润 1.25 亿元，较上年同期增长 15.22%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润 6,518.25 万元，较上年同期增长 32.65%，盈利能力持续增强。2023 年上半年，公司继续保持较高水平的研发投入，研发投入金额达到 2.10 亿元，同比增加 78.77%，研发投入占比达 20.93%。公司通过高强度的研发投入，保持细分领域内产品技术领先，同时，不断丰富设备产品品类，拓宽薄膜工艺应用覆盖面，在现有产品产业化应用、新产品及新工艺研发验证等方面均取得了突破性进展。

我们认为拓荆科技营收继续高速增长，主要源于在薄膜沉积领域的优势与持续的技术投入，未来 ALD 等领域还有望有大幅的增长，所以预计公司将在营收与利润上持续高增。基于公司订单继续高速增长的假设下，我们预测 2023-2025 年公司营收分别为 28.02 亿元、39.80 亿元和 53.08 亿元，EPS 分别为 2.81 元、4.24 元和 5.53 元，对应 2023 年 9 月 28 日收盘价 238.21 元/股，2023-2025 年 PE 分别为 84.65 倍、56.13 倍和43.09倍。基于9月28日收盘价，SW半导体设备板块整体法计算的PE为53.77，我们认为公司订单增长依然保持较高增速，首次覆盖给予增持评级。

4.6.万业企业

根据万业企业 2023 年中报显示，公司的设备产品现已覆盖集成电路离子注入机、刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等多款集成电路核心前道设备以及 local scrubber、真空泵、热电偶等支撑制程设备。同时，嘉芯半导体集成电路设备研发制造基地将以 109 亩土地 14 万方的新产能面积加速推动长三角一体化发展示范区核心设备基地的建设落成，进一步丰富公司“1+N”半导体设备产品平台矩阵。 2023 年上半年，公司实现营业收入 3.89 亿元，同比增加 134.34%，实现归属于上市公司股东的净利润 1.19 亿元，同比增加 318.10%；扣除非经常性损益后，实现归属于上市公司股东的净利润 0.25 亿元，同比增加 1.03%。2023 年以来，公司旗下凯世通及嘉芯半导体共获得集成电路设备订单近 3 亿元，两家公司累计集成电路设备订单金额近 15 亿元。

我们认为万业企业 1+N 的布局，在国内离子注入领域已拥有较强竞争力，通过不断地整合与发展，我们预计未来公司营收与利润会保持较高增速。基于公司半导体订单持续增长的假设下，我们预测 2023-2025 年公司营收分别为 15.42 亿元、21.01 亿元和 26.87 亿元，EPS 分别为 0.44 元、0.56 元和 0.72 元，对应 2023 年 9 月 28 日收盘价 15.75 元/股，2023-2025 年 PE 分别为 35.52 倍、28.36 倍和21.84倍。基于9月28日收盘价，SW半导体设备板块整体法计算的PE为53.77，首次覆盖给予增持评级。

4.7.北方华创

根据北方华创 2023 年中报信息显示，2023 年上半年因订单增长，营业收入同比增长 54.79%，其中核心业务电子工艺装备营收同比增长 79.26%。在半导体工艺装备领域，北方华创的主要产品包括刻蚀、薄膜、清洗、热处理、晶体生长等核心工艺装备，广泛应用于逻辑器件、存储器件、先进封装、第三代半导体、半导体照明、微机电系统、新型显示、新能源光伏、衬底材料等工艺制造过程。北方华创借助产品种类多样、技术代和工艺覆盖广泛等优势，以产品迭代升级和成套解决方案为客户创造更大价值。

我们认为北方华创作为国产半导体设备的领先者，在市场低迷的情况下仍能保持高速的增长，凸显公司在产品广度与深度的领先地位，我们预计公司未来依旧将保持快速增长。因 2023 年中报利润增长超预期，我们预计公司盈利能力将有持续性提升，调整公司盈利预测：维持公司 23-25 年营收 199.91 亿元/256.48 亿元/329.06 亿元的预测不变，上调公司 23-25 年 EPS 6.55 元/8.78 元/11.32 元的预测至 7.52 元/9.64 元 /12.46 元，对应 2023 年 9 月 28 日 241.30 元/股收盘价，PE 分别为 32.10 倍/25.02 倍/19.37 倍，维持公司“买入”评级。

4.8.中微公司

根据中微公司 2023 年中报信息显示，2023 年上半年度公司营业收入为 25.27 亿元，同比增长 28.13%。公司的刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，市场占有率不断提高。在国际最先进的 5 纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上，公司的 CCP 刻蚀设备实现了多次批量销售，已有超过 200 台反应台在生产线合格运转。公司的 ICP 刻蚀设备不断地核准更多刻蚀应用，迅速扩大市场并不断收到领先客户的批量订单。本期刻蚀设备收入为 17.22 亿元，较上年同期增长约 32.53%，毛利率达到 46.16%；公司于 2023 年上半年出售了部分持有的拓荆科技股份有限公司股票，产生税后净收益约 4.06 亿元（非经常性收益）。

我们认为中微公司作为国内先进制程的核心设备企业，在技术上的领先会使公司的营收与盈利保持较好的增长。因 2023 年中报利润增长超预期，我们预计公司盈利能力将有持续性提升，调整公司盈利预测：维持公司 23-25 年营收 61.62 亿元/80.10 亿元/100.13 亿元的预测不变，上调公司 23-25 年 EPS 2.29 元/2.95 元/3.58 元的预测至 2.94 元/3.17 元/3.74 元，对应 2023 年 9 月 28 日 150.55 元/股收盘价，PE 分别为 51.21 倍/47.46 倍/40.22 倍，维持公司“买入”评级。

4.9.芯源微

根据芯源微 2023 年中报信息显示，2023 年上半年，公司继续加大研发投入，产品竞争力不断增强，收入规模持续增长，实现营业收入 6.96 亿元，同比增长 37.95%；归属于上市公司股东的净利润 1.36 亿元，同比增长 95.48%。公司第三代浸没式高产能涂胶显影设备平台架构 FT300（Ⅲ）于 2022 年 12 月份发布后获得了下游客户的广泛认可，截至 2023 年上半年末，公司浸没式涂胶显影机客户端导入进展良好。2023 年上半年，公司对第三代平台架构和内部腔体单元进行了进一步地完善与优化，未来该平台架构将作为通用性架构全面向下兼容 ArF、KrF、I-line、offline 等工艺。

我们认为芯源微在国内涂胶显影设备领域已取得显著认可，随着第三代平台的渗透率不断提升，我们预计公司的营收与盈利将会实现高速增长。因公司 2023 年上半年研发投入加大，调整公司盈利预测：维持公司 23-25 年营收 18.99 亿元/28.14 亿元/38.81 亿元的预测不变，下调公司 23-25 年 EPS 2.88 元 /4.24 元/5.63 元的预测至 1.95 元/2.87 元/3.80 元，对应 2023 年 9 月 28 日 132.48 元/股收盘价，PE 分别为 68.00 倍/46.20 倍/34.83 倍，维持公司“增持”评级。

（本文仅供参考，不代表我们的任何投资建议。如需使用相关信息，请参阅报告原文。）