【前瞻研究院】静电卡盘国产化，半导体零部件的艰难突围.pdf

半导体零部件系列研究之静电卡盘：静电卡盘是半导体关键零部件，技术壁垒高

收入稳健增长，通信器件外壳、静电卡盘业务潜力较大