【中泰证券】TOPcon持续爆发，多元布局助力龙头跨越技术周期.pdf

2023-08-21

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1、TOPcon：持续爆发，双面 POLY 等技术助推行业不断迭代

1.1、“股权财政”催化，TOPcon 扩产持续超预期

“土地财政”步入尾声：根据财政部数据，2022 年国有土地使用权出让收入 66854 亿元，同比下降 23.3%，表明土地财政随着房地产需求见顶已开始出现缺口，依靠土地财政推经济增长的模式已不可持续，政府亟需新的增长点来支撑财政。 “股权财政”大势所趋：二十大提出“健全资本市场功能，提高直接融资比重”，以股权融资为代表的直接融资方式正逐渐受到各级政府重视， “资本招商”的模式渐起。其主要通过地方融资平台、产业引导基金等入股企业，引进一批优秀企业，进而促进当地经济和产业发展。以此模式为代表的股权财政时代正在来临。

光伏成为招商引资热门。“股权财政”大背景下，各地招商引资如火如荼，而其中光伏则成为招商引资热门产业。原因是：①光伏属于清洁能源，符合双碳发展目标。②光伏投资成本低、建设周期短、见效快。以光伏电池片（TOPcon）为例，设备投资强度约为 1.6-1.8 亿/GW，加上土地厂房、基础设施等，总投资约 3 亿元/GW。项目建设周期约为 9 个月。即如果投 10GW 产能，初始投资为 30 亿，按照单瓦 1 元计算，对应每年 100 亿营收（如果年初投，Q4 即可产生收入）。对地方 GDP 和财政收入的促进效果显而易见。

TOPcon 电池充分受益。光伏产业链纵向对比：硅料、硅片和组件环节较为同质化，电池片环节技术迭代快，引领光伏的发展；电池环节横向对比：PERC 属于落后产能，不符合先进的技术方向，而 HJT 和钙钛矿属于远期前沿技术，无法形成规模化出货（对于地方政府无法形成 GDP 和利税贡献）。而 TOPcon 属于高效新型技术，性价比高，扩产周期短，产业端已量产出货。因此，TOPcon 正成为各地追捧的招商引资对象。根据我们不完全统计，截至 2023 年 6 月底，国内已公布或签约的 TOPcon 项目合计 287.5GW。

2023 年 TOPCon 出货量超 110GW，占终端需求比重约 26%。根据我们对各家电池企业产能扩张进度的统计，2023 年业内 TOPCon 电池投产产能约 190GW（受 PERC 产能约束，各家 TOPcon 达产进度或将低于预期），出货量将超 110GW（按照 100%产能利用率测算）。据 PV InfoLink 预测，2023 年光伏电池总出货量约 416GW，即 TOPCon 出货量占比约 26%（如果按照 80%的产能利用率，占比仅为 21%），未形成高份额占比，高溢价背景下， TOPCon 扩产仍有望保持高增速。

1.2、复盘 PERC 时代，TOPcon 扩产仍未高点

PERC 时代：根据 PV InfoLink 统计，PERC 总产能在 2022 年达 480GW，而 22 年终端装机需求仅为230GW，即PERC 总产能与终端需求比值为2.1。造成这种现象的原因是 PERC 体系内的技术迭代，如增加 SE 的 PERC 产能转换效率更高，进而替代传统 PERC 产能，使后者失效，成为无效产能。 TOPcon 时代：市场基于终端需求判断行业扩厂进度。我们认为，这种判断将显著低估 TOPcon 扩产的量级和持续性。因为 TOPcon 的替代分为两个阶段：①TOPcon 替代 PERC；②先进 TOPcon 替代传统 TOPcon（即新产能替代旧产能）。最终 TOPcon 扩产量级将远超市场预期。按照 PERC 时代 2-2.5 的比例测算，终端需求根据 PV InfoLink 统计将达到 400GW 以上，最终 TOPcon 扩产将达到 800-1000GW。

1.3、双面 POLY 等技术助推，TOPcon 具备内生增长动力

传统 TOPcon 电池结构：TOPCon 是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触(Tunnel Oxide Passivated Contact)太阳能电池技术，其电池结构为 N 型硅衬底电池，在电池背面制备一层超薄氧化硅，然后再沉积一层掺杂硅薄层，二者共同形成了钝化接触结构，有效降低表面复合和金属接触复合，为 N-PERT 电池转换效率进一步提升提供了更大的空间。其与 PERC 相比的改进是增加了遂穿层，包括两层结构：一是 1-2nm 的超薄 SiO2 作为遂穿层实现钝化，二是 100nm 的掺杂多晶硅层形成背面的异质结结构。TOPCon 能够与 PERC 产线进行兼容。从工艺来看，TOPCon 在 PERC 的基础上增加了硼掺杂、非晶硅及遂穿层沉积、湿法刻蚀工艺，对应增加的设备为硼扩散炉、LPCVD（或 PECVD）、湿法刻蚀设备。

双面 POLY 是正反两面均采用钝化接触结构的电池技术。双面 POLY 电池基本结构与传统的 TOPcon 电池结构一致，二者的区别在于双面 POLY 电池在其正面也要依次沉积氧化硅层和多晶硅层，形成钝化结构。双面 poly 可以进一步提升 TOPcon 转换效率。根据《On the limiting efficiency for silicon heterojunction solar cells》（Wei Long 等），TOPcon 电池在采用单面 POLY 层的情况下，理论极限效率是 27.1%，若采取双面 PLOY 层则可达到 28.7%的理论效率。在实际转换效率提升上，预计有望带来 0.8%-1.0%的效率增益。

目前产业界已对双面 POLY 技术有深度探索和布局。以三一集团为例，其采用 PoPaid 技术在正面经过制结后的硅片的正面和背面分别制备氧化硅层，而后采用 PoPaid 技术在硅片的背面制备掺杂非晶硅层，采用激光图形转印技术在硅片正面局部印刷掺硼硅浆料，涂覆位置与正面电极图形相对应，而且印刷宽度大于等于栅线宽度，经过退火后制得局域掺硼多晶硅层。该制备方法能够有效避免多晶硅绕镀问题，而且步骤简单，成本低。双面 POLY 等技术使 TOPcon 具备内生增长动力，新产能将逐步替代旧产能。参考上文，双面 POLY 技术将推动 TOPcon 理论转换效率极限提升至 28.7%，实际量产效率亦较当前水平提升 0.8%-1%，使得采用双面 POLY 的 TOPcon 产能较以往产能具备更高性价比，从而带来新旧产能替换，旧产能逐渐失效。

1.4、公司：PE-poly 设备优势显著，客户验证进展顺利

公司 TOPcon 设备技术实力突出。TOPcon 时代，公司相继推出了 PE-poly、 MAD 等设备，持续助推行业降本增效。其中，PE-poly 技术核心方案完美实现了隧穿层、Poly 层、原位掺杂层的“三合一”制备，不仅解决了传统 TOPCon 电池生产过程中绕镀、能耗高、石英件高损耗的固有难点，而且新型 PE-poly 技术路线的原位掺杂时间仅为传统 LP 路线的五分之一。 MAD 是公司独创开发的技术，用于 TOPCon PE-poly 路线正面氧化铝和氮化硅二合一制备，能够替代传统正面的 ALD/PEALD 路线，量产表现优秀且工艺研发空间宽阔。

公司 PE-Poly 设备优势：①工艺时长：PE-Poly 为 40-50 分钟，LPCVD 为 110 分钟；②投资成本：PE-Poly 设备投资总体低于 LP 设备；③单 W 成本：PE-Poly 比 LP 节省约 8 厘/W；④转换效率：PE-Poly 量产效率为 25.5%，预计今年为 26%，明年有望达到 26.5%；⑤良率：PE-Poly 良率比 LP 高约 0.5%。客户 PE 产线爬坡顺利，示范效应凸显。根据公司官微披露，PE-Poly 技术路线在客户量产中电池转换效率表现突出，量产良率已达到 97％以上，以公司客户大恒能源为例，仅用时 23 天，其 TOPCon PE-poly 产线（未上 SE）实现了电池平均量产转换效率达 25.4%以上，电池入库良率突破 97%，达到目前行业最先进水平，开创了行业新纪录。我们认为，客户端 PE 数据的不断公布有望形成示范效应，促使公司持续获取 PE 订单。

TOPCon 时代公司有望获取较高市占率。从 PERC 设备竞争格局来看，捷佳在红海市场的竞争中，市占率持续提升，到 2021 年捷佳伟创已成为国内具备 PERC 设备整线供应能力的龙头企业，综合市占率超 50%，其中核心的单晶制绒设备和刻蚀清洗设备市场占有率达 70%以上，扩散设备和 PECVD 设备市场占有率达 50%以上。在 TOPCon 时代初期，公司有望拥有比 PERC 更高的市占率，原因在于 TOPCon 电池盈利能力强，下游厂商首选已有成熟量产厂商的设备，捷佳作为独立的设备供应商，有望占据较大市场份额，即超过 50%。

公司订单正处于爆发阶段，后续业绩高增具备支撑。2023 一季度末，公司合同负债为 77.86 亿元，较 2022 年年末增加 19.74 亿元，同比口径增长 132.08%，表明公司订单正迎来爆发式增长（这种增长从 2022 年 3 季度已经开始体现，2022Q3、2022Q4、2023Q1 合同负债增速分别为 27.70%、 55.05%、132.08%，与 TOPcon 行业的扩产节奏基本吻合），从而为后续业绩的高增提供较强支撑。

2、HJT：产业拐点临近，公司突破客户整线订单成长可期

2.1、铜电镀助推 HJT 持续降本，期待性价比拐点来临

银浆成本高企是 HJT 大规模产业化的主要瓶颈。当前，HJT 与 TOPcon 的性价比比较是行业主要关注点，我们主要基于最新的量产线数据，进行以下三大核心参数的对比：

1）转换效率：①电池转换效率：2022 年 11 月隆基绿能 HJT 电池转化效率达到 26.81%，2023 年 4 月中来股份 TOPCon 电池转换效率做到 26.7%，表明研发数据上限较为接近。实地产业链调研的平均量产效率：TOPCon 为 25.5%（考虑 SE）、HJT 已突破 25%（双面微晶），并有望提升至 25.5% 以上。①组件转换效率：CTM 值等于组件功率与一个组件所用电池片功率总和的比值，表示组件功率损失的程度，CTM 值越高表示组件封装功率损失的程度越小。根据东方日升官微，其 210 尺寸 HJT 组件功率最高达到 741.456W，效率为 23.89%。中来股份 210 尺寸 TOPcon 组件功率可达 720W，效率为 23.18%。可以看出，HJT 组件最高功率高出 TOPcon 最高功率约 20W，转换效率亦有一定优势。

2）硅片成本：在 N 型硅片报价一致的情况下，硅片成本主要取决于硅片厚度。目前 TOPCon 电池硅片主流厚度已降至 130μm（晶科已做到 125 μm），HJT 电池硅片主流厚度亦为 130μm，两者厚度差异尚不明显。从减薄趋势看，两种技术路线的厂家均再向 120μm 及以下的厚度推进。 3）非硅成本：根据横店东磁数据，目前 PERC 的非硅成本约为 0.14 元/W， TOPCon 的非硅成本为 0.17 元/W。HJT 目前尚未稳定量产，设备稼动率虽已提升至 70-80%，但与 95%的稳定量产仍有差距，因此 HJT 的非硅成本基于模型推算，并且在考虑 HJT 调试顺利的基础上按照 95%稼动率进行测算，非硅成本约为 0.31 元/W，较 TOPcon 高约 0.14 元/W。其中，银浆成本约为 0.13 元/W（按照 20mg/W 银浆耗量、6500 元/kg 银浆价格、90% 的银浆占比计算），占非硅成本比重约为 42%，是制约 HJT 大规模量产的主要成本瓶颈。

铜电镀可彻底实现无银化，进一步降本增效。现阶段，降低银浆成本主要有两种手段：一是优化栅线图形进而节约银浆耗量，例如 MBB、0BB 等技术，其中 0BB 属无主栅技术，可大幅降低银耗；二是降低浆料中的银含量，例如银包铜、铜电镀等技术。目前已有电池厂家将两种手段结合进一步降低银耗，如东方日升采用银包铜（使银含量降到 50%以下） +0BB 技术，HJT 量产组件产品的纯银单瓦耗量已降至 10mg 以内，金属化成本有望下降 5-6 分/瓦。此种方式依然采用传统的丝网印刷工艺制备。但若想实现彻底去银，电镀铜技术是最终手段，其采用全铜栅线，增效方面，铜栅线更细，遮光面积降低，电阻率低，有助于提高电池效率（超过 0.2%）；降本方面，铜金属价格更低，根据海源复材，铜电镀可使金属化成本降低 50%左右（预计降低 5-6 分/瓦，与银包铜降本效果相当）。

铜电镀产业进展迅速，助推 HJT 性价比拐点来临。2023 年 5 月，海源复材、芯碁微装、广信材料三家企业签署《高效率低成本 N 型电池铜电镀金属化技术战略合作协议》，结为战略合作伙伴并展开全方面技术合作，电池厂商、设备厂商和材料厂商所构成的铜电镀产业生态进一步完善。此外，2023 年 7 月，通威基本验收太阳井 200MW 中试线、国电投验证罗博特科 600MW 设备，进一步表明铜电镀产业趋势正在来临。我们认为，随着铜电镀技术的成熟，HJT 非硅成本将大幅下降，同时转换效率进一步提升，叠加 HJT 设备降本的持续进行，HJT 性价比拐点渐行渐近。

2.2、大厂博弈背景下，HJT 有望迎来抢跑

提前布局新技术是大厂在后 TOPcon 时代的不二选择。当前 TOPcon 因其高性价比已成为扩产主流，2023 年预计扩产规模达 400-500GW。在这一背景下，光伏大厂在 TOPCon 持续扩产上需考虑两个因素：1）产业层面，政府基于产能过剩担忧从而降低补贴力度，导致 TOPcon 建设成本增加； 2）资本层面，TOPCon 产能趋于同质化，大厂扩产 TOPCon 难以获得资本青睐。提前布局新技术成为大厂在后 TOPCon 时代取得先发优势不二选择。

类比晶科率先扩产 TOPcon，HJT 有望迎来抢跑。当前主要电池新技术包括 HJT 和钙钛矿，而钙钛矿属于相对远期技术，因此 HJT 成为大厂抢跑扩产首选（同时满足量产落地和新技术要求）。类比 22 年晶科率先扩产TOPcon，在技术路线终将趋同趋势下，先发优势重要性凸显。值得注意的是，晶科 22 年对 TOPcon 的率先扩产表明先发扩产时点不一定是性价比最优时点，所以即使出现大厂扩产，并不等于 HJT 性价比领先 TOPCon。

2.3、公司：技术快速跟进，头部客户整线订单重大突破

公司 HJT 设备：自主研发 HJT 制绒、非晶硅镀膜、TCO、丝网印刷等工序的主机设备，具有完全知识产权；板式 PECVD 可实现单面或双面微晶工艺，助力 HJT 电池 25%以上量产平均转换效率目标的实现；自研的 RPD 持续优化，其转换效率的显著优势已在客户端得到验证。

公司在 RF 微晶 P 工艺方面取得突破，降本效果显著。由于 RF 工艺频率较低（一般为 13.56MHz，VHF 工艺一般在 30-300MHz），高速高质量沉积一直是困扰 HJT 大产能板 P 的技术难点。根据公司官微，近期公司在 RF 工艺方面取得突破，微晶 P 薄膜沉积速率超过 2 埃/秒，晶化率稳定在 50%以上，速率和晶化率均达到 VHF 水平，处于行业前列。公司的大产能射频板 P 预计将比市面上主流设备减少 1-2 个微晶 P 腔体，降本效果突出。

HJT 取得全球头部客户整线订单，彰显实力。根据公司官微，5 月中标全球头部光伏企业量产型 HJT 整线订单，本次订单采用了公司最新的板式 PECVD 双面微晶工艺。此外，公司还积极参与了境外及国内多家新能源头部企业的 HJT 项目招标，取得了制绒/板式 PECVD/Cat-CVD/PAR/PVD/ 印刷等十余项单机设备中标通知书及重复订单。这标志着公司稳步推进的 HJT 电池全路线全工序装备在技术和工艺上持续获得突破，广泛获得市场认可。目前公司在所有光伏技术路线上，即 PERC（1.2 亿/GW）、 TOPcon（1.6-1.8 亿/GW）、HJT（3.5-4 亿/GW）、钙钛矿（7-10 亿/GW），均取得头部客户整线订单，光伏设备龙头实力进一步凸显。

3、钙钛矿：行业潜力巨大，公司设备处于领跑地位

3.1、钙钛矿电池优势明显，技术潜力突出

钙钛矿电池相比晶硅电池效率更高。钙钛矿电池是利用钙钛矿型材料作为吸光层的新型化合物薄膜太阳能电池。自 2009 年钙钛矿电池面世以来，仅经过13年发展，其效率就从3.8%提升至26.1%，并且还有增长的趋势，其效率提升速度是所有光伏技术中最快的。相对晶硅太阳能电池, 钙钛矿电池更轻薄、柔性和透光性更强、短波长范围内吸光能力强。钙钛矿电池的理论极限效率（31%）也高于晶硅电池（29.4%）。同时，钙钛矿电池可与多种类型电池叠层以进一步提升转换效率，双结叠层电池的理论极限效率为 46%。钙钛矿这一特性有望令其成为超越晶硅的下一代主流光伏电池技术路线。

钙钛矿电池具有明显成本优势。钙钛矿材料中 A 位、B 位、X 位均可迭代替换，可选用的材质种类众多。通过改变 A、B、X 三种离子的种类以及不同种类之间的混合比，可以达到钙钛矿材料的带隙从 1.17eV 到 3.11eV 之间连续调控，从而获得最佳禁带宽度；相对于其他化合物薄膜电池（如 CdTe、CIGS 电池等），钙钛矿电池原料更易获取、迭代能力更强。此外，量产中钙钛矿层材料多采用有机无机杂化化合物，且厚度非常薄（0.3-0.8um)，相比晶硅电池（130-170um），钙钛矿电池耗材更少且成本低廉。从成本而言，钙钛矿降本空间明显。钙钛矿电池相对晶硅电池具有耗材少、成本低、产业链紧凑、总投资少的优点，以协鑫 100MW 钙钛矿产线为例：玻璃和电极成本占比最高，占比分别为 34.0%和 30.9%，钙钛矿材料成本占比仅为 3.1%；当钙钛矿电池产能扩大到 1GW 以上时，组件成本可达晶硅组件的 70%。

3.2、钙钛矿电池产业提升潜力巨大

钙钛矿电池是理想的 BIPV 材料。钙钛矿电池具备轻薄、透光性强、短波长吸光能力强、弱光效应好、可在柔性基材上制备的优点，预计短期内主要应用于 BIPV（光伏建筑一体化）和 CIPV（车载光伏）。其中，BIPV 是光伏行业增长最快的细分市场之一。BIPV 组件在不影响建筑美观的情况下能够广泛吸收太阳能，可以用于替代建筑围护结构部分（如屋顶、天窗或外墙）中的传统建筑材料。BIPV 是钙钛矿的最佳应用场景：1.钙钛矿电池投资成本低，结构轻便，易于安装；2.相比多晶硅电池，钙钛矿电池在多云、阴天以及太阳光照角度较低时持续不断产生电能；3.钙钛矿电池可以制作成具有透光性、色彩可调节的组件，能更好得融入建筑。根据测算，2028 年整体 BIPV 市场装机规模可达 201.1GW，对应 BIPV 组件空间可达 9957 亿元。若钙钛矿组件渗透率达 20%，其装机规模可达 40.2GW，对应钙钛矿组件市场空间 482 亿元。

CIPV 投资回收周期短，有望迎来放量，钙钛矿充分受益。CIPV（汽车集成光伏）领域处于起步阶段。目前 Toyota Prius Prime、Nissan Leaf、 Karma Fischer Revero、Hyundai Sonata 和 Ioniq 5 是首批配备光伏集成全景天窗的汽车。这些光伏全景天窗的功率输出约为数百瓦，主要用于支持供暖、通风和车载空调系统。CIPV 发电经济性分析：假设一台汽车装备 CIPV 设备需要额外支出 5000 元。一台汽车发电面积 4 平米，每天持续发电 5 小时，预计可以带来 20 公里的续航增程。按照电价 0.72 元/度，可以得到 CIPV 设备的投资回收期为 5.28 年。钙钛矿作为 CIPV 系统主要电池方式，有望充分受益其发展。

3.3、公司提前布局，钙钛矿设备优势明显

钙钛矿设备市场容量大。在钙钛矿领域，产业化设备主要包含磁控溅射仪、RPD 设备、涂覆机、蒸镀机和激光设备等。空穴传输层采用磁控溅射设备；钙钛矿层多采用狭缝涂覆机；电子传输层多采用 RPD 设备；背电极根据选取材料不同可以选用磁控溅射设备或 RPD。伴随光伏行业持续增长以及光伏技术路线不断更迭，作为光伏高效路线重要环节的光伏设备行业将迎来新的发展机遇，光伏设备市场发展空间广阔。目前单结钙钛矿电池制备设备端，单 GW 投资额达 10 亿以上，预计未来将降至 5-7 亿，即 2025 年钙钛矿设备市场空间有望达到 150-200 亿。

公司技术优势明显，提前同业布局。在钙钛矿领域，公司依托全面强大的真空镀膜技术与多年沉淀的精密设备设计能力，涵盖了 RPD、PVD、PAR、 CVD、蒸发镀膜及精密狭缝涂布、晶硅叠层印刷等设备。其中作为生产缓解中最贵设备，RPD 设备由目前公司独供。在钙钛矿电池技术路线上，公司依托全面强大的真空镀膜技术与多年沉淀的精密设备设计能力，在大尺寸钙钛矿、全钙钛矿叠层、HJT/TOPCon 叠层钙钛矿领域的设备销售持续放量。公司已向十多家光伏头部企业和行业新兴企业及研究机构提供钙钛矿装备及服务，具备钙钛矿及钙钛矿叠层 MW 级量产型整线装备的研发和供应能力。目前在钙钛矿设备领域处于行业领先，2023 年钙钛矿订单设备金额超过 2 亿元人民币。在钙钛矿行业 0-1 的早期阶段，同业大多处于研发阶段，公司已经批量供货，进度远超同行。

4、半导体：国内清洗设备空间约百亿，批量导入客户放量可期

4.1、半导体湿法清洗设备重要性凸显，国产替代进行时

半导体产业技术进步带动湿法清洗设备需求提升。在半导体产业链中，为制造出下游芯片，需完成前序清洗、光刻、刻蚀等工序。其中，清洗工序约占所有芯片制造工序步骤数量的 30%以上，且光刻、刻蚀、沉积等工序前后都需要一步清洗工序。其中，为了减少缺陷，光刻、刻蚀、沉积等工序前后都需要清洗，清洗约占所有制造工序数量的 30%以上。湿法是清洗工序的主流技术，占清洗步骤数量的 90%以上。湿法清洗设备主要包括单片清洗设备、槽式清洗设备、组合式清洗设备和批式旋转喷淋清洗设备等，其中以单片清洗设备为主流。随着芯片制程的升级，清洗的步骤与门槛亦快速提高，进而使得清洗设备的价值和市场需求随之提升。

半导体清洗设备与国外差距明显，中国正快速跟进。在全球清洗设备市场，美日韩等国外公司占据领先地位，以单片清洗设备为例，DNS（迪恩士）、TEL（东京电子）、LAM（泛林半导体）与 SEMES（三星电子）四家公司包揽了全球 90%的市场份额。技术方面，国内公司正在快速突破，以盛美为例，其已在研 7/5nm 清洗设备技术，且在保持兆声波清洗效果好的优势前提下，可有效解决清洗不均匀和晶片损伤的问题。该技术不输国际领先厂商的工艺和清洗效果，正逐步打破国外垄断。

国内半导体清洗设备需求约百亿。全球来看，根据 Marketwatch 的数据， 2022 年全球半导体清洗设备规模达到 55.91 亿美元，至 2028 年预计达 77.94 亿美元，年复合增长率约为 5.7%。国内来看，2015 年以来，我国半导体行业投资加速，清洗设备市场需求呈持续增长态势，2022 年行业规模约为 97.83 亿元。未来随着晶圆厂设备采购不断推进，清洗设备市场需求有望进一步提升。

4.2、公司：清洗设备技术快速进步，已导入多个头部客户放量可期

以湿法设备为主，纵向延伸至氧化炉、退火炉等其他设备领域。公司基于自身在光伏行业丰富的技术积累和人才储备，向半导体设备领域延伸，并引进国内外专家团队。设备布局上，公司目前以清洗设备为主，自研 6/8/12 吋湿法刻蚀清洗设备，包括有篮和无篮的槽式设备及单片设备，涵盖了多种前道湿法工艺，应用于集成电路前段湿法刻蚀、去胶、清洗以及后段金属刻蚀、有机物去除相关工艺。此外，公司未来将继续拓展其他泛半导体市场，如面板、碳化硅等行业。

导入上海积塔半导体等客户，取得行业主流客户的重复性批量定单。 2022 年 6 月份，公司 8 吋 Cassette-less 清洗设备顺利交付至上海积塔半导体有限公司，设备运行情况良好，且中标上海积塔半导体后续 10 余台清洗设备订单，制程涵盖 8 吋至 12 吋。其他客户方面，亦成功导入青岛芯恩、成都德州仪器等头部芯片企业。同时，公司强化软件实力，协同国内多家供应商，着力开发及验证关键零部件，取得了多项“卡脖子”技术的重大突破。

（本文仅供参考，不代表我们的任何投资建议。如需使用相关信息，请参阅报告原文。）