按照气体所含化学成分，电子气体（含电子大宗以及电子特种气体）可分为掺杂气、等离子蚀刻气、化学气相沉积气等十余类

图表属性

• 数据类型：产业概述
• 行业分类：工业制造
• 发布日期：2023-07-31
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