卡盘分类及各自特点
数据来源：中国地质大学《基于 IC 装备中的静电卡盘静电力仿真及试验研究》，光大证券研究所
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- 2017-2028E 全球静电卡盘市场销售额及增速
数据来源：QYResearch，光大证券研究所 注：预测数据来自于 QYResearch2023-08-03 - 中国大陆半导体设备市场增速整体高于全球水平
数据来源：SEMI，光大证券研究所2023-08-03 - 中国大陆半导体设备市场规模占比整体呈上升趋势
数据来源：SEMI，光大证券研究所2023-08-03 - 国内企业静电卡盘布局
数据来源：各公司招股说明书、公告、官网，光大证券研究所2023-08-03 - 2021 年全球静电卡盘市场格局（销售额口径）
数据来源：QYResearch，光大证券研究所2023-08-03
图表属性
- 数据类型：产业概述
- 行业分类：工业制造
- 发布日期：2023-08-03
- 文件格式：PNG